中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-E440

半導体製造装置や真空成膜装置、研究用のガス供給ラインで、ガスの質量流量を計測しながら設定値どおりに制御する熱式のマスフローコントローラーです。流路を流れるガスの熱の移動から質量流量を検出する熱式質量流量センサと、その出力に応じて開度を調整する制御バルブを一体にした構成です。外部からの設定信号に従って、ガスを一定の流量で送り出します。体積流量ではなく質量流量を直接扱うため、プロセスガスの供給量を管理する用途で広く使われています。
確認できた個体の銘板では、校正ガスはO2(酸素)、フルスケール流量は500 sccm、N2基準のコンバージョンファクタ(C.F.)は0.980、バルブ形式はCと表示されています。
酸素用に校正されているため、他のガスを流す場合は換算係数による補正が必要です。シリーズとしての精度、使用圧力、継手、応答時間はメーカー仕様書で確認できていないため、導入時は銘板やメーカー資料で個別に確認してください。