中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-E440
年式表記：
仕様:O2、500SCCM
仕様:O2、500SCCM
本体価格(税別、送料別)
40,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高精度なガス流量制御を実現するアナログ方式のマスフローコントローラーです。内部に熱式流量センサーと電磁式コントロールバルブを搭載し、外部からの設定信号に応じて瞬時にガス流量を一定に維持します。対象ガスはO2（酸素）で、最大制御流量（フルスケール）は500SCCMに調整されています。
応答性能に優れており、設定変更から1秒以下で目的の流量に到達する高速応答を実現しています。シール部には気密性の高いエラストマー素材が採用されており、外部漏れを1.0×10^-8 Pa・m3/s以下に抑える高いシール性を確保しています。動作差圧範囲は50〜300 kPaに対応し、理化学機器への組み込みや、各種実験設備、ガス混合ラインなど、安定した酸素流量の制御が求められる用途に適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス:** O2（酸素）
* **フルスケール流量:** 500 SCCM
* **流量制御範囲:** 2% 〜 100% F.S.
* **流量精度:** ±1.0% F.S.（保証温度：15〜35℃）
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **応答速度:** 1秒以下（全域）
* **動作差圧範囲:** 50 〜 300 kPa
* **耐圧:** 1.0 MPa (G)
* **外部リークレート:** 1.0 × 10^-8 Pa・m3/s 以下 (He)
* **動作温度範囲:** 5 〜 50℃（許容周囲温度）
* **流量設定/出力信号:** 0 〜 5 VDC
* **駆動電源:** DC ±15V ±5%
* **消費電流:** +15V：50mA以下、-15V：150mA以下
* **電気接続:** D-sub 9pinコネクタ
本装置は、高精度なガス流量制御を実現するアナログ方式のマスフローコントローラーです。内部に熱式流量センサーと電磁式コントロールバルブを搭載し、外部からの設定信号に応じて瞬時にガス流量を一定に維持します。対象ガスはO2（酸素）で、最大制御流量（フルスケール）は500SCCMに調整されています。
応答性能に優れており、設定変更から1秒以下で目的の流量に到達する高速応答を実現しています。シール部には気密性の高いエラストマー素材が採用されており、外部漏れを1.0×10^-8 Pa・m3/s以下に抑える高いシール性を確保しています。動作差圧範囲は50〜300 kPaに対応し、理化学機器への組み込みや、各種実験設備、ガス混合ラインなど、安定した酸素流量の制御が求められる用途に適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス:** O2（酸素）
* **フルスケール流量:** 500 SCCM
* **流量制御範囲:** 2% 〜 100% F.S.
* **流量精度:** ±1.0% F.S.（保証温度：15〜35℃）
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **応答速度:** 1秒以下（全域）
* **動作差圧範囲:** 50 〜 300 kPa
* **耐圧:** 1.0 MPa (G)
* **外部リークレート:** 1.0 × 10^-8 Pa・m3/s 以下 (He)
* **動作温度範囲:** 5 〜 50℃（許容周囲温度）
* **流量設定/出力信号:** 0 〜 5 VDC
* **駆動電源:** DC ±15V ±5%
* **消費電流:** +15V：50mA以下、-15V：150mA以下
* **電気接続:** D-sub 9pinコネクタ