中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
本体価格(税別、送料別)30,000円
この商品を問い合わせる
見積・送料・動作確認の結果をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。
同じ型式の在庫がほかに16台あります → 中古 Aera FC-770AC の在庫17台を比べる
- 実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
- 大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 数量
- 12台(同じ型式をこの管理番号でまとめて管理。価格は1台あたり)
- 仕様
- 流量：20SCCM ガス：O2
- 管理番号
- Z241011024
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | O2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SCCM |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本機は、半導体製造プロセス、各種真空装置、分析機器などの微小流量制御ラインで広く採用されているアナログ制御方式のマスフローコントローラーです。対象ガスは酸素（O2）に設定されており、フルスケール流量20 SCCMに対して、2～100%の範囲で連続的かつ安定した質量流量の計測および制御を行います。酸化プロセスや精密なガス混合など、厳密な流量管理が求められる用途に適しています。
内部の流量制御バルブは、非通電時にバルブが閉鎖するノーマリークローズ（NC）機構を採用しており、停電やシステム異常時の意図しないガス供給を防ぐ安全設計となっています。また、接ガス部のシール構造にはメタルシールが採用されているため、外部リークの発生リスクが極めて低く、高純度ガスラインや高真空環境下での使用において高い信頼性を発揮します。
流量設定および出力信号には標準的な0～5 VDCのアナログ電圧を使用し、駆動電源として±15 VDCを必要とします。流量精度はフルスケールの±1.0%以内、応答時間は1秒以下と、高速かつ精密なガス供給システムを構築する上で十分な基本性能を備えています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
同じ型式 FC-770AC の在庫
ほかのマスフローコントローラー（MFC）の在庫
マスフローコントローラー（MFC）の在庫をすべて見る(223点) ›
マスフローコントローラー（MFC）
Aera
FC-780C
30,000円
問い合わせるZ241011022
マスフローコントローラー（MFC）の買取も行っています
不要になったマスフローコントローラー（MFC）がありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。