中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 流量：200SCCM ガス：N2
- 管理番号
- Z241011026
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 200 SCCM |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本機は、半導体製造プロセスや各種ガス制御システムにおいて高精度な流量制御を行うためのサーマル（熱式）マスフローコントローラーです。制御対象ガスは窒素（N2）に設定されており、フルスケール流量は200SCCMです。内部の熱式流量センサーと精密なコントロールバルブを組み合わせることで、微小なガス流量の変動に対しても迅速かつ安定した制御を実現します。
流量の制御範囲はフルスケールの2%から100%（4〜200SCCM）と広く設定されており、多様なプロセス要件に対応します。応答速度は1.0秒以内と高速で、設定値に対する高い追従性を備えています。入出力の通信インターフェースには0〜5VDCのアナログ電圧信号を使用するため、既存のアナログ制御システムや各種PLC機器との統合が容易です。
駆動用電源には±15VDCを必要とし、周囲環境温度5℃から45℃の範囲内での動作が推奨されています。また、同シリーズのなかでも本機はメタルシール構造を採用しているモデルに該当し、接ガス部には耐腐食性に優れたSUS316L等のステンレス素材が使用されています。これにより、外部へのガス漏洩やプロセスへのコンタミネーションの発生を厳密に抑制する必要がある高純度ガスラインにも適した構造となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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