中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-4400RCｰAV
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-4400RCｰAV
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス：Ar 流量：100SCCM
- 管理番号
- Z26021433
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Ar |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
SEC-4400RCｰAV の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | Ar |
|---|---|
| バルブ | 常閉(NC) |
| 継手 | VCR 1/4 |
| 入出力信号 | 0〜5V |
| 標準流量レンジ(N2換算F.S.) | 5SCCM〜5SLM |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1 %F.S. |
| 直線性 | ±0.5 %F.S. |
| 繰返性 | ±0.2 %F.S. |
| 動作圧力 | 50〜300 kPa(d) |
| 耐圧 | 1000 kPa |
| 接ガス部材質 | SUS-316L、シールはバイトン(Rタイプ) |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁸以下(He) Pa·m³/s |
※本製品は中古品のため、実際のフルスケール流量設定値、対象ガス種設定、および校正状態は個体ごとに異なります。導入時は銘板の設定内容をご確認ください。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
堀場エステック Stec SEC-4400RCｰAV の装置概要 AIによる記述です
本機は、半導体製造プロセスや各種工業用途、研究開発において、ガスの質量流量を高精度に計測・制御するための質量流量制御器です。熱式流量センサーと高分解能な制御バルブを一体化しており、環境温度や配管内の圧力変動による影響を受けずに、目的のガス流量を正確かつ安定して供給する役割を担います。
本シリーズは、主に10L/min〜最大50L/min（SLM）程度の中〜大流量域に対応するモデルとして設計されています。内部の気密を保つシール材にはラバー（フッ素ゴム等）を採用しており、窒素、アルゴン、空気、酸素といった非腐食性の一般ガスラインでの使用に適しています。また、入出力インターフェースとして0～5VDCのアナログ電圧信号を採用した仕様であり、既存のアナログ制御システムやPLC等への組み込みが容易な設計です。
制御性能としては、フルスケールに対して±1.0%の流量精度を確保し、設定値に対して約1秒以内（T98）で到達する高速応答性を備えています。流量制御範囲はフルスケールの2%～100%と広く、成膜プロセスや熱処理炉、分析機器など、客観的で正確な流量管理が要求される多様なシステムにおいて、信頼性の高いガス供給を実現します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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