中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-780C

Name: Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-780C
Brand: Aera
SKU: Z241011022
Price: 30000 JPY
Availability: InStock

本体価格(税別、送料別)30,000円

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仕様(この商品の仕様欄・銘板から)

ガス種	O2
流量(フルスケール)	5 SCCM

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

コネクタ接続	CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF)
外形寸法	124(L)×32(W)×122(H) mm
フルスケールレンジ(N2換算)	10SCCM〜5SLM
バルブ形式	ノーマリクローズ
外部シール材	Metal(メタル)
応答性(フルスケールの±2%まで)	1秒以内
精度(フルスケール)	±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下)
直線性(フルスケール)	±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下)
繰り返し性(フルスケール)	±0.2%以下
外部リークレート	1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉
流量制御範囲(フルスケール)	2〜100%
動作差圧	0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉
最大動作圧力	5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉
耐圧力	10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉
使用可能周囲温度	5〜45 ℃

出典: メーカー資料

本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において、気体の質量流量を高精度に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラーです。エラストマー（フッ素ゴム）シールを採用したアナログ制御方式のモデルであり、高い信頼性と安定した動作実績を備えています。

本個体のフルスケール流量は5 SCCMと非常に微小な流量域に対応しており、対象ガスは酸素（O2）仕様となっています。流量制御の応答速度は2秒以下と素早く、プロセスガス供給の迅速な安定化に寄与します。また、外部リーク量が極めて低く抑えられており、クリーンかつ安全なガスラインの構築に適しています。

アナログ信号（0〜5 VDC）による入出力インターフェースに対応しており、既存の制御システムや外部機器との連携が容易です。微小流量の精密なガス制御を必要とする、スパッタリングやCVDなどの真空成膜装置、実験用評価装置などの用途に適しています。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。