中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-4400R
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-4400R
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス：Ar 流量：100SCCM
- 管理番号
- Z26021434
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Ar |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
| 現品銘板の型式 | SEC-4400R(HORIBA STEC) |
SEC-4400R の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | O2(酸素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.985(N2基準) |
| バルブ型式 | ノーマリクローズ(銘板の VALVE 欄 C) |
| 接ガス部材質 | SUS-316L、バイトン(Rタイプ) |
| 流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1%F.S. |
| 直線性 | ±0.5%F.S. |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁸Pa·m³/s(He)以下(Rタイプ) |
| 耐圧 | 1000 kPa |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50℃(精度保証15〜35℃) |
| 流量設定信号 | 0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) |
出典: 現品の銘板、メーカー資料
堀場エステック Stec SEC-4400R の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや真空装置、各種分析機器などのガス供給ラインにおいて、高精度な流量制御を行うデジタルマスフローコントローラーです。内部にマイクロプロセッサと高感度な熱式流量センサーを搭載しており、周囲の温度や圧力の変動に影響されにくい安定したガス流量の計測と制御を実現します。
シール材質にエラストマー（フッ素ゴム等）を採用したラバーシールモデルであり、バルブ駆動部にはピエゾアクチュエータを搭載しています。これにより、全流量域において1秒以内という高速な応答性能を備えています。対応するフルスケール流量は微小な10 SCCMから最大50 SLM（N2換算）までの幅広いレンジをカバーし、流量精度は±1.0% F.S.を確保しています。
制御インターフェースは、従来のアナログ信号（0〜5VDC）による入出力に加え、RS-485準拠のデジタル通信にも対応しているため、既存の制御システムへの柔軟な組み込みが可能です。研究開発用途から工業用の量産ラインまで、多岐にわたる環境での精密なガス制御に適した装置です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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