中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-4400RC
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-4400RC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス：Ar 流量：100SCCM
- 管理番号
- Z26021432
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Ar |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
SEC-4400RC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 継手 | 1/4VCR |
|---|---|
| 標準流量レンジ(N2換算F.S.) | 5SCCM〜5SLM |
| 流量制御範囲 | 2〜100% F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1% F.S.(MARK3の場合は±2%以内) |
| 直線性 | ±0.5% F.S.(MARK3の場合は±1%以内) |
| 繰返性 | ±0.2% F.S. |
| 動作差圧 | 50〜300 kPa(d) |
| 耐圧 | 1,000 kPa |
| 接ガス部材質 | Rタイプ: SUS-316L + バイトン® |
| バルブ型式 | RC = 非通電時閉(ノーマルクローズ) |
| 外部リークレート | Rタイプ: 1×10⁻⁸Pa·m³/s(He)以下 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50(精度保証 15〜35) ℃ |
| 使用可能周囲湿度 | 85%RH以下 |
| 流量設定信号 / 流量出力信号 | 0〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) / 0〜5VDC(最小負荷抵抗2kΩ) |
出典: メーカー資料
堀場エステック Stec SEC-4400RC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造装置や各種産業用プロセスにおいて、気体の質量流量を精密に測定・制御するためのマスフローコントローラーです。内部にピエゾアクチュエータを利用した高速駆動バルブと高度なデジタルPID制御回路を搭載しており、設定した流量に対して1秒以内という極めて迅速な応答性能を発揮します。
流量制御範囲はフルスケール（F.S.）の2%から100%と広範にわたるため、プロセス中の微小な流量変化から最大流量まで、安定的かつシームレスなガス供給を実現します。流量精度は±1.0% F.S.、再現性は±0.2% F.S.を達成しており、厳格なガス流量管理が求められる成膜プロセスやエッチング工程などにおいても高い信頼性を提供します。
本モデルはラバーシール（Oリング）を採用した構造であり、接ガス部にはSUS316Lなどの耐食性に優れたステンレス材料が使用されています。これにより、非腐食性ガスから各種プロセスガスまで幅広い流体に対応可能です。制御インターフェースは一般的なアナログ入出力（0～5VDC）を備えるほか、デジタル通信にも対応しており、上位のPLCや制御システムとの連携、リアルタイムなステータス監視が容易に行える設計となっています。研究開発用途から量産ラインのガス供給ユニットまで、汎用性の高い流量制御デバイスとして活用できます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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