中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-4400RC
本体価格(税別、送料別)30,000円
この商品を問い合わせる
見積・送料・動作確認の結果をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。
同じ型式の在庫がほかに1台あります → 中古 堀場エステック Stec SEC-4400RC の在庫2台を比べる
- 実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
- 大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-4400RC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス：N2 流量：50SCCM
- 管理番号
- Z26021431
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 50 SCCM |
SEC-4400RC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 継手 | 1/4VCR |
|---|---|
| 標準流量レンジ(N2換算F.S.) | 5SCCM〜5SLM |
| 流量制御範囲 | 2〜100% F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1% F.S.(MARK3の場合は±2%以内) |
| 直線性 | ±0.5% F.S.(MARK3の場合は±1%以内) |
| 繰返性 | ±0.2% F.S. |
| 動作差圧 | 50〜300 kPa(d) |
| 耐圧 | 1,000 kPa |
| 接ガス部材質 | Rタイプ: SUS-316L + バイトン® |
| バルブ型式 | RC = 非通電時閉(ノーマルクローズ) |
| 外部リークレート | Rタイプ: 1×10⁻⁸Pa·m³/s(He)以下 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50(精度保証 15〜35) ℃ |
| 使用可能周囲湿度 | 85%RH以下 |
| 流量設定信号 / 流量出力信号 | 0〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) / 0〜5VDC(最小負荷抵抗2kΩ) |
出典: メーカー資料
堀場エステック Stec SEC-4400RC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセス、真空装置、分析機器などにおいて、プロセスの微小ガス流量制御に用いられるマスフローコントローラーです。熱式流量センサーと比例制御バルブを一体化しており、ガスの質量流量を高精度に計測・制御します。
アナログ信号（0～5 VDC）およびデジタル通信の双方に対応しており、既存の制御システムや各種産業機器への組み込みが容易に行える設計となっています。流量制御範囲はフルスケールの2～100%であり、設定値に対する応答速度は1.0秒以内と、高速なフィードバック制御を実現しています。また、流量精度は±1.0% F.S.、再現性は±0.2% F.S.を確保しており、安定したガス供給が求められる精密なプロセス制御に適しています。
内部の接ガス部材質にはSUS316Lや磁性ステンレスが採用され、耐食性が考慮されています。なお、MFCは個体ごとに「対応ガス種（N2、Ar、O2など）」「フルスケール流量レンジ」「継手形状」が細かく設定されているため、実際のシステムへ導入・交換される際は、実機ラベルに記載されているキャリブレーション情報をご確認ください。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
同じ型式 SEC-4400RC の在庫
ほかのマスフローコントローラー（MFC）の在庫
マスフローコントローラー（MFC）の在庫をすべて見る(223点) ›
マスフローコントローラー（MFC）
Aera
FC-780C
30,000円
問い合わせるZ241011022
マスフローコントローラー（MFC）の買取も行っています
不要になったマスフローコントローラー（MFC）がありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。