中古機 マスフローコントローラー（MFC） リンテック製、型式MC-2100MOのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高精度かつ極めて安定したガス流量制御を実現する熱式マスフローコントローラーです。接ガス部のシール材に金属（メタルシール）を採用した高気密仕様（MOタイプ）であり、微小な外部リークやゴム素材からのアウトガスが許されないクリーンなプロセスに適しています。熱式質量流量センサーと応答性に優れた電磁式比例弁を搭載し、一次側の供給圧力変動に左右されることなく、設定された流量を瞬時に維持します。本個体は水素ガス（H2）用としてフルスケール流量2SLM（Standard Liters per Minute）に調整・校正されています。半導体分野から各種研究開発における精密なガス供給プロセスまで、幅広い用途に対応する信頼性の高いガス制御機器です。

【AIによる参考仕様】
- 対応ガス種：水素（H2）
- フルスケール流量：2 SLM
- シール構造：メタルシール（高気密MO仕様）
- 流量制御精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
- 再現性：±0.2% F.S.
- 応答速度：約1.0秒（典型値）
- 動作差圧範囲：50 kPa ～ 300 kPa
- 耐圧：1.0 MPa
- 外部リーク量：1×10⁻¹¹ Pa・m³/s He 以下
- 動作温度範囲：5℃ ～ 45℃（精度保証範囲：15℃ ～ 35℃）
- アナログ制御信号：0 ～ 5 VDC（流量設定入力・流量出力）
- 駆動電源：±15 VDC ±5%
- 接ガス部主要材質：SUS316L、SUS316