中古 リンテック マスフローコントローラー（MFC） MC-2100MO
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- メーカー
- リンテック
- 型式
- MC-2100MO
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- H2 2SLM
- 管理番号
- Z21041903
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | H2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 2 SLM |
| 現品銘板の型式 | MC-2100MO(LINTEC CO., LTD.) |
MC-2100MO の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | H2(水素) |
|---|---|
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 1.000(N2基準) |
| ファームウェア | Ver.1.4(アドレス00) |
※校正ガスと流量は現品の銘板から読み取った値。同じ型式でもガス種とフルスケールは個体ごとに違う。
※メーカー仕様書(精度・使用圧力・継手・応答時間)は取得できていない。
※校正ガス以外で使うときは換算係数(コンバージョンファクタ)が必要。
※水素用に校正されたものは可燃性ガスを流した履歴がある点に注意。
出典: 現品の銘板、lintec-mfc.jp
リンテック MC-2100MO の装置概要 AIによる記述です
ガスの質量流量を計測しながら、設定値どおりの流量を保つ流量制御機器です。流路を流れるガスによる熱の移動から質量流量を検出する熱式質量流量センサと、その出力に応じて開度を調整する制御バルブを組み合わせています。体積ではなく質量で流量を扱うため、温度や圧力の変化の影響を受けにくい制御ができます。CVDやエッチング、熱処理炉、触媒や材料評価の実験系など、プロセスガスを一定量で供給する用途で使われます。
現品の銘板には、校正ガスがH2(水素)、フルスケール流量が2 SLMと記載されています。窒素換算のコンバージョンファクタ(C.F.)は1.000(N2基準)、ファームウェアはVer.1.4(アドレス00)です。精度、使用圧力、継手形状、応答時間などのメーカー仕様は確認できていません。配管や制御系に組み込む前に、これらの条件を確かめる必要があります。
同じ型式でも、校正ガスとフルスケールは個体ごとに異なります。校正ガス以外のガスで使う場合は、換算係数による補正が必要です。また、水素用に校正された個体には可燃性ガスを流した履歴がある点に注意してください。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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