中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-771A
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-771A
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスH2 流量20SLM
W125 D34 H160 - 管理番号
- Z21080224
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | H2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SLM |
| 外形寸法 | W125 D34 H160 mm |
FC-771A の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 6〜20SLM |
|---|---|
| バルブ | 常開(NO) |
| 校正ガス | H2 |
| 標準継ぎ手(シリーズ) | 1/4"VCR または 1/4"Swagelok |
| 動作差圧 | 69〜275 kPa(d) |
| 応答性 | 2秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁷以下(He) Pa·m³/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 最大動作圧力 | 490 kPa(g) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※校正ガスとフルスケール(H2 20SLM)は掲載の仕様欄の値。MFCは同じ型式でもガス種とフルスケールが個体ごとに違うので、別のガスで使うには換算係数での読み替えか再校正が要る。
※外部シールがゴムのため、リークレートは 1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He) 台とメタルシールの FC-780系(1×10⁻¹¹台)より緩い。超高真空側の用途では注意。
※20SLM超で使うときの動作差圧は 98〜275kPa(d) になる(取説の注記)。
出典: メーカー資料
Aera FC-771A の装置概要 AIによる記述です
ガス供給ラインに組み込み、ガスの質量流量を検出して内蔵の制御バルブで設定値に保つマスフローコントローラーです。半導体製造装置などのプロセスガス供給に使われます。フルスケールレンジはN2換算で6〜20SLM、バルブは常開(NO)形、標準継ぎ手は1/4"VCRまたは1/4"Swagelokです。掲載の仕様欄では校正ガスはH2、フルスケールは20 SLMです。
精度、直線性、繰り返し性はそれぞれフルスケールの±1%以下、±0.5%以下、±0.2%以下です。応答性は2秒以内(フルスケールの±2%まで)です。流量制御範囲は2〜100 %F.S.、動作差圧は69〜275 kPa(d)です。最大動作圧力は490 kPa(g)、耐圧力は981 kPa(g)、使用可能周囲温度は5〜45 ℃です。外部リークレートは1×10⁻⁷以下(He) Pa·m³/secです。
外部シールにゴムを使っているため、超高真空側の用途ではリークに注意が要ります。また、ガス種とフルスケールは個体ごとに異なり、別のガスで使うには換算係数での読み替えか再校正が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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