中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-771A
年式表記：
仕様:ガスH2 流量20SLM W125 D34 H160
仕様:ガスH2 流量20SLM W125 D34 H160
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本製品は、半導体製造ラインや精密化学プロセス等において、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。水素（H2）ガス専用として調整が施されており、最大20 SLM（Standard Liters per Minute）の比較的大きな流量領域における精密な制御に対応します。
同系統のシリーズにおいて、本モデルはガス接触部にメタルシールを採用している点が大きな特徴です。これにより、優れた気密性と高い耐食性を確保し、外部へのガス漏洩リスクを極限まで低減させるとともに、高純度なガス供給ラインの構築に寄与します。制御および出力には、実績豊富でノイズに強い0〜5 VDCのアナログインターフェースを採用しており、既存の制御システムへの円滑な統合が可能です。幅125mmのコンパクトな設計ながら、安定した応答特性と信頼性の高い流量制御を実現します。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス：** 水素（H2）
* **最大制御流量：** 20 SLM
* **シール材質：** メタルシール
* **入出力信号：** 0 〜 5 VDC
* **制御精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2秒以下
* **動作差圧範囲：** 約 100 〜 300 kPa
* **最大動作圧力：** 1.0 MPa
* **電源仕様：** DC ±15 V
* **電気コネクタ：** D-sub 9ピン（オス）
* **継手規格：** 1/4インチ VCR相当
* **外形寸法：** W125 mm × D34 mm × H160 mm
本製品は、半導体製造ラインや精密化学プロセス等において、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。水素（H2）ガス専用として調整が施されており、最大20 SLM（Standard Liters per Minute）の比較的大きな流量領域における精密な制御に対応します。
同系統のシリーズにおいて、本モデルはガス接触部にメタルシールを採用している点が大きな特徴です。これにより、優れた気密性と高い耐食性を確保し、外部へのガス漏洩リスクを極限まで低減させるとともに、高純度なガス供給ラインの構築に寄与します。制御および出力には、実績豊富でノイズに強い0〜5 VDCのアナログインターフェースを採用しており、既存の制御システムへの円滑な統合が可能です。幅125mmのコンパクトな設計ながら、安定した応答特性と信頼性の高い流量制御を実現します。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス：** 水素（H2）
* **最大制御流量：** 20 SLM
* **シール材質：** メタルシール
* **入出力信号：** 0 〜 5 VDC
* **制御精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2秒以下
* **動作差圧範囲：** 約 100 〜 300 kPa
* **最大動作圧力：** 1.0 MPa
* **電源仕様：** DC ±15 V
* **電気コネクタ：** D-sub 9ピン（オス）
* **継手規格：** 1/4インチ VCR相当
* **外形寸法：** W125 mm × D34 mm × H160 mm