中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-E440のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、各種産業プロセスや研究開発において、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。内部に搭載された熱式流量センサ、バイパス、プロポーショナル電磁バルブ、および制御回路により、一次側の圧力変動に左右されることなく、設定された流量を安定して供給します。

本個体は、対象ガスがアルゴン（Ar）、最大制御流量が50 SCCMに設定されています。接ガス部のシールにはエラストマー（FKM等）が採用されており、気密性と信頼性を確保しています。外部とのインターフェースには、アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定および出力に対応しており、D-sub 9ピンコネクタを介して既存のシステムや制御用PC、表示器へ容易に統合可能です。半導体関連装置、理化学機器、ガス分析装置など、精密なガス流量制御を必要とする幅広い設備に適しています。

【AIによる参考仕様】
* **対象ガス**: アルゴン (Ar)
* **最大制御流量 (F.S.)**: 50 SCCM
* **流量制御範囲**: 2% 〜 100% F.S.
* **流量精度**: ±1.0% F.S. (保証温度範囲：15℃〜35℃において)
* **応答速度**: 2秒以下 (全閉から設定値100%へのステップ応答において)
* **バルブ動作形式**: 常閉 (Normally Closed)
* **シール材質**: エラストマー
* **動作差圧範囲**: 50 kPa 〜 300 kPa
* **耐圧**: 1.0 MPa (G)
* **外部リーク量**: 1 × 10⁻⁷ Pa・m³/s (He) 以下
* **アナログ制御信号**: 入力 0〜5 VDC / 出力 0〜5 VDC
* **必要電源**: +15 VDC ±5% (100mA) / -15 VDC ±5% (150mA)
* **電気接続**: D-sub 9ピン (プラグ)
* **外形寸法**: 約 W150 mm × D32 mm × H120 mm (実測・継手含む)