中古 アネルバ ANELVA 真空計(分圧真空計) QIG-066
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- メーカー
- アネルバ ANELVA
- 型式
- QIG-066
- 機種
- 真空計
- 仕様
- W210 D370 H100
- 管理番号
- Z21080369
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
QIG-066 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 測定質量数範囲 | 1〜66 amu |
|---|---|
| 動作圧力 | 2.6×10^-2以下(2×10^-4 Torr以下) Pa |
| 最小検知圧力(LED表示最小分解能) | 6.6×10^-9(5×10^-11 Torr) Pa |
| 分解能 | M/ΔM≧M(30%ピーク高) |
| 掃引時間 | 100 msec/amu、3 sec/amu、10 sec/amuの3レンジ |
| 感度(対N2) | 1.5×10^-6以上(2×10^-4 A/Torr以上) A/Pa |
| エレクトロメータ | 1.6×10^-11〜5.1×10^-7 A/V |
| レコーダ信号出力 | 0〜10(出力インピーダンス100 Ω以下、最大出力電流2 mA) V |
| エミッション電流 | 300 μA、2 mA |
| 分析管 | φ70 ICFフランジ付きニップルタイプ、四重極φ8×120 ステンレス製、ファラデーカップ検出、トリアコートイリジウムフィラメント2本 |
| 分析管ベーキング温度 | 300(ヘッドユニットを外した状態) ℃ |
| 外部インターフェイス | GP-IB(標準) |
| 寸法・質量(コントロールユニット、ラックマウント形状) | 210W×100H×353D、3.7 kg(ケーブル・突起部を含まず) mm |
| 寸法・質量(ヘッドユニット / 分析管) | ヘッドユニット65×200×120・2.5 kg / 分析管 約φ70×209・2.5 kg mm |
| 電源 | 単相AC100 ±10%、1 A、50/60 Hz V |
※QIG-066はコントロールユニット・ヘッドユニット・センサー(分析管)の3点で構成される。現品写真にはコントロールユニットとケーブルが写っており、ヘッドユニット・分析管が付属するかは要確認。
※現品の登録寸法 W210×D370×H100 mmは、取説のコントロールユニット寸法(210W×100H×353D mm、突起部を含まず)とほぼ一致するため、現品はコントロールユニットと考えられる。
※アナログ出力・セットポイント出力・プリンタ出力はオプションボード装着時のみ。現品のオプション装着状況は要確認。
※取説によると分析管のイオン源は残留ガス(炭化水素系など)で汚れて感度が下がるため、定期的な校正やイオン源交換が必要になる。中古品は分析管の状態に注意。
※仕様値は社内保管の取扱説明書(スキャン)による。版により記載が異なる可能性がある。
出典: メーカー資料
アネルバ ANELVA QIG-066 の装置概要 AIによる記述です
真空中の残留ガスを質量数(m/z)ごとに分離し、各成分の分圧と全圧を測定する四重極型の分圧真空計です。コントロールユニット、ヘッドユニット(RF電源・イオンソース電源・エレクトロメータ)、センサー(分析管)の3つで構成され、測定質量数範囲は1〜66 amuです。分析管はφ70 ICFフランジ付きのニップルタイプで、イオンコレクタにファラデーカップを用いているため、二次電子増倍管式と異なり繰り返し大気にさらしても感度が安定しているとされています。
操作モードはPRESS(代表的な残留ガス9成分・炭化水素・全圧の11成分固定の分圧測定)、LEAK(M/Z=4のヘリウムリーク測定)、CHART(マススペクトル測定)、SIM(多重イオン検出)、RMT(外部制御)の5つで、GP-IBインターフェイスを標準装備しています。オプションボードの追加により各チャンネルの0〜10 Vアナログ出力、セットポイント出力、プリンタ接続に対応します。
動作圧力は2.6×10^-2 Pa以下で、約2.5×10^-2 Paを超えるとフィラメントを切る圧力保護があります。分析管はヘッドユニットを外せば300℃までベーキングできます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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