中古機 真空計(分圧真空計) アネルバ製、型式QIG-066のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、真空槽内の残留ガス成分やプロセスガス成分の定性・定量分析を行うための四重極型分圧真空計（残留ガス分析計）です。真空チャンバー内の気体分子を熱陰極からの電子衝撃によってイオン化し、四重極（マスフィルター）部に直流電圧と高周波電圧を印加することで、特定の質量電荷比（m/z）を持つイオンのみを分離して検出する仕組みを採用しています。

主な用途として、真空排気プロセスの立ち上げ時におけるアウトガス成分（水、窒素、酸素、炭化水素など）のモニタリング、真空装置の微小なリーク箇所の特定（ヘリウム等のトレースガスを用いたリークテスト）、成膜やエッチングなどの真空プロセス中のガス成分監視などに活用されます。全圧真空計では把握しきれない各ガス成分の分圧挙動を可視化することで、真空環境の最適化やトラブルシューティングに貢献します。

コントロールユニット部は幅210mm、奥行き370mm、高さ100mmというコンパクトな筐体サイズに設計されており、既存の制御ラックや卓上など、限られたスペースへの組み込みや設置が容易です。

【AIによる参考仕様】
・測定原理：四重極質量分析法
・イオン源：熱陰極電子衝撃型（フィラメント式）
・検出方式：ファラデーカップ または 二次電子増倍管（※システム構成による）
・測定質量範囲：1〜50 amu / 1〜100 amu（※接続するセンサーヘッドの仕様に依存）
・測定圧力範囲（参考）：10^-2 Pa ～ 10^-9 Pa 程度の高真空・超高真空領域
・主要用途：真空装置内の残留ガス分析、分圧測定、プロセスモニタリング、リークテスト
・ユニット外形寸法：W210 × D370 × H100 mm（コントロールユニット単体）
・動作電源：AC100V（標準的な参考値）

※上記は同方式における一般的な参考仕様を含みます。中古機械の性質上、付属するセンサーヘッドの有無・種類やオプション構成により、実際の測定質量範囲や最小可検分圧が異なる場合がありますので、現品の状態および付属品をご確認ください。