中古機 電離真空計 アルバック　Ulvac製、型式GI-TL3のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高真空から超高真空領域における圧力測定を目的とした熱陰極型の電離真空計コントローラーおよび測定セットです。真空チャンバー内の残留ガス分子を熱電子によって電離させ、その際に発生する微小なイオン電流を増幅・捕捉することで、システム内の圧力を高感度に測定する原理を採用しています。主に半導体製造プロセス、真空蒸着・スパッタリング装置、各種研究開発用の高真空排気システムなど、精密な真空管理が不可欠な環境において幅広く利用されています。

本品には専用のセンサー（測定子）および接続ケーブルが付属しており、既存設備の更新や予備機としての運用をスムーズに行うことが可能です。前面パネルには視認性に優れたアナログメーターや操作スイッチが配置されており、測定レンジの切り替えやエミッション電流の選択など、現場での直感的な状態把握と操作をサポートします。

熱陰極電離真空計は広範な高真空領域において安定した連続測定が可能ですが、フィラメントを高温で加熱する特性上、大気圧や低真空領域での通電はセンサーの急激な消耗や断線につながります。そのため、ピラニ真空計等の粗引き用真空計と併用し、適切な圧力（一般に1.0×10^-1 Pa以下）に到達した後に測定を開始する運用が必要です。

【AIによる参考仕様】
・測定原理: 熱陰極電離真空計（B-A型 / Bayard-Alpert型）
・測定圧力範囲: 約 1.0×10^-1 Pa ～ 1.0×10^-6 Pa （パネル前面でのレンジ切替式）
・エミッション電流: 0.1 mA / 1.0 mA （切替式）
・表示方式: アナログメーター指示
・外部入出力: レコーダー用アナログ出力（圧力値の記録用）、外部コントロール用接点出力
・使用電源: AC100V 単相 50/60Hz
・付属品: 電離真空計用センサー、専用接続ケーブル
・想定対応測定子: UG-20等の標準的なガラス製またはメタル製測定子（※実機に付属するセンサーの正確な型番については現物画像等をご確認ください）

※上記は当該シリーズの標準モデルにおける一般的な仕様に基づく参考値です。公式カタログ等ではデジタル表示モデルや多機能モデルと仕様が併記されているケースがありますが、本記載はアナログ指示・単独測定モデルの特性を中心に抽出しています。付属センサーの種類や機器の経年状態により、実際の測定下限値や精度は変動する場合があります。