中古機 電離真空計 島津製作所　Shimadzu製、型式IG-11のご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、高真空から超高真空領域における精密な圧力測定を目的とした熱陰極型の電離真空計コントローラです。主に半導体製造装置、真空蒸着・スパッタリング装置、各種研究開発用の真空チャンバーにおいて、排気系の到達圧力の確認やプロセスの真空度モニタリングに利用されます。

測定原理として、フィラメントから放出される熱電子を利用して残留気体分子をイオン化し、その際に生じるイオン電流値を測定して圧力を算出するB-A（Bayard-Alpert）型を採用しています。対象となる測定圧力範囲は、組み合わせる専用の測定子に依存しますが、一般的に 1.0 × 10^-1 Pa から 1.0 × 10^-7 Pa 程度の幅広い高真空領域をカバーします。同シリーズのカタログ等に併記されることが多い低真空測定用のピラニ真空計（大気圧～10^-1 Pa程度）とは測定範囲や原理が明確に異なるため、運用時は対象の真空領域にご注意ください。

装置本体には視認性の高い圧力表示パネルを備え、リアルタイムでの真空度確認が可能です。また、アナログ電圧出力や、任意の圧力値で動作するセットポイント（接点）出力を搭載しているため、真空バルブの自動制御やインターロック構築用センサーとしても機能します。既存の真空装置の保守・メンテナンスや、予備機としての導入に適した実用的な設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・測定原理：B-A型（Bayard-Alpert）熱陰極電離真空計
・測定対象：高真空・超高真空領域（非腐食性ガス）
・測定圧力範囲：約 1.0 × 10^-1 Pa ～ 1.0 × 10^-7 Pa（※接続する測定子の仕様による）
・表示方式：デジタル圧力表示（指数表示対応）
・外部出力機能：アナログ電圧出力（外部記録計・モニタリング用）
・制御・警報出力：セットポイント接点出力（インターロック・プロセス制御用）
・適合測定子：メーカー指定の専用B-A型測定子
・電源仕様：AC100V

※上記は同シリーズの公式情報および一般的な電離真空計のデータに基づく参考仕様です。実際の有効測定範囲や機能は、組み合わせて使用する測定子の型式や経年状態によって変動する場合があります。