中古機 真空計(分圧真空計) アネルバ製、型式QIG-066のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高真空および超高真空領域におけるチャンバー内の残留ガス成分を分析し、各ガスの分圧状態を測定するための四重極型分圧真空計（コントロールユニット）です。主な用途として、真空排気プロセスにおける到達真空度の確認、チャンバー内の水分や炭化水素といった不純物ガスの特定、さらにはヘリウム（質量数4）等を用いた真空リークテスト（漏れ検査）に活用されます。

測定原理には四重極質量分析法を採用しており、センサー部（測定子）と接続することで、イオン化されたガス分子を質量電荷比（m/z）ごとに分離・検出します。本ユニットはセンサーへの電源供給、高周波電圧の印加、および検出された微小電流信号の増幅・処理を担う中核機器となります。

外形寸法は幅210mm、奥行き370mm、高さ100mmのコンパクトな設計となっており、19インチハーフラックサイズに近い形状のため、既存の真空装置の制御盤や限られたスペースへの組み込みにも適しています。半導体製造装置や各種真空成膜装置（スパッタリング、真空蒸着、CVDなど）、および研究開発用真空排気システムの保守・管理・プロセスモニタリングに有用な分析機器です。

【AIによる参考仕様】
・測定原理: 四重極質量分析法 (Quadrupole Mass Spectrometry)
・主な用途: 真空装置の残留ガス分圧測定、不純物モニタリング、リークディテクト
・質量範囲 (m/z): 1〜60 または 1〜100（※接続するセンサーヘッドの仕様に準ずる）
・測定圧力範囲: 1.0×10^-2 Pa 〜 1.0×10^-7 Pa（※ファラデーカップ検出器使用時の一般的な参考値）
・検出器方式: ファラデーカップ / 二次電子増倍管（※接続センサーに依存）
・外形寸法: W210 × D370 × H100 mm
・対応センサー: 同社製四重極質量分析管（※本ユニット単体での測定は不可、別途センサー部と専用ケーブルが必要）
・入出力インターフェース: アナログ信号入出力、レコーダー出力
・冷却方式: 自然空冷
・入力電源: AC100V（標準的参考値）

※上記仕様は同シリーズの一般的なデータに基づく参考値です。実際の測定質量範囲や検出下限圧力等の性能は、組み合わせるセンサーヘッド（マスフィルター）の仕様や個体の状態によって変動します。また、複数の型式・構成が存在するシリーズのため、導入時にはインターフェース等の詳細なピンアサイン確認が推奨されます。