中古 真空計
メーカー名
インフィコン
型式VGC103
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
70,000円
【AIによる装置概要】
高真空から大気圧までの幅広い圧力帯を正確に測定・管理するために設計された真空計用のコントローラーです。ピラニ真空計、コールドカソード真空計、イオン真空計などの各種アクティブまたはパッシブゲージを接続することで、センサからの信号を解析し、リアルタイムの圧力値をデジタル表示します。測定範囲は接続するゲージの仕様に依存しますが、適切なセンサの組み合わせにより、超高真空領域（約1×10^-8 Pa）から大気圧（約1×10^5 Pa）までのシームレスな圧力モニタリングを実現します。
本体前面には視認性の高いディスプレイを備えており、複数チャンネル入力に対応した構成では各測定ポートの圧力を一元管理できます。圧力単位はPa、mbar、Torrなどから選択可能で、プロセスの要求に合わせた設定変更が直感的に行えます。
外部機器との連携機能として、測定圧力に比例した0〜10Vのアナログ電圧出力、プロセス制御用のリレー接点出力（セットポイント）、およびRS232CやRS485などのデジタル通信インターフェースを搭載しています。これにより、半導体製造装置、真空成膜装置（スパッタリング、蒸着等）、各種分析機器や研究開発チャンバーなど、厳密な真空制御と自動化が求められる産業用システムへ容易に組み込むことが可能です。
【AIによる参考仕様】
・測定可能圧力範囲: 約 1×10^-8 Pa ～ 1×10^5 Pa （※接続する真空ゲージの種類に依存）
・接続チャンネル数: 1 ～ 3 チャンネル（モデルおよびシステム構成による）
・表示単位: Pa, mbar, Torr （任意切替可能）
・ディスプレイ: デジタル圧力表示（LCDまたは高輝度LED）
・アナログ出力: 0 ～ 10 V DC （対数またはリニア電圧出力）
・制御出力（セットポイント）: リレー接点出力（任意の圧力値でプログラム可能）
・デジタル通信インターフェース: RS232C / RS485 等
・電源入力: AC 100 ～ 240 V, 50/60 Hz
・消費電力: 60 W 以下
・使用周囲温度: 5℃ ～ 50℃
・マウント形式: 19インチラックマウント（ハーフラック幅等）またはパネル組み込み対応
高真空から大気圧までの幅広い圧力帯を正確に測定・管理するために設計された真空計用のコントローラーです。ピラニ真空計、コールドカソード真空計、イオン真空計などの各種アクティブまたはパッシブゲージを接続することで、センサからの信号を解析し、リアルタイムの圧力値をデジタル表示します。測定範囲は接続するゲージの仕様に依存しますが、適切なセンサの組み合わせにより、超高真空領域（約1×10^-8 Pa）から大気圧（約1×10^5 Pa）までのシームレスな圧力モニタリングを実現します。
本体前面には視認性の高いディスプレイを備えており、複数チャンネル入力に対応した構成では各測定ポートの圧力を一元管理できます。圧力単位はPa、mbar、Torrなどから選択可能で、プロセスの要求に合わせた設定変更が直感的に行えます。
外部機器との連携機能として、測定圧力に比例した0〜10Vのアナログ電圧出力、プロセス制御用のリレー接点出力（セットポイント）、およびRS232CやRS485などのデジタル通信インターフェースを搭載しています。これにより、半導体製造装置、真空成膜装置（スパッタリング、蒸着等）、各種分析機器や研究開発チャンバーなど、厳密な真空制御と自動化が求められる産業用システムへ容易に組み込むことが可能です。
【AIによる参考仕様】
・測定可能圧力範囲: 約 1×10^-8 Pa ～ 1×10^5 Pa （※接続する真空ゲージの種類に依存）
・接続チャンネル数: 1 ～ 3 チャンネル（モデルおよびシステム構成による）
・表示単位: Pa, mbar, Torr （任意切替可能）
・ディスプレイ: デジタル圧力表示（LCDまたは高輝度LED）
・アナログ出力: 0 ～ 10 V DC （対数またはリニア電圧出力）
・制御出力（セットポイント）: リレー接点出力（任意の圧力値でプログラム可能）
・デジタル通信インターフェース: RS232C / RS485 等
・電源入力: AC 100 ～ 240 V, 50/60 Hz
・消費電力: 60 W 以下
・使用周囲温度: 5℃ ～ 50℃
・マウント形式: 19インチラックマウント（ハーフラック幅等）またはパネル組み込み対応