中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-400MK3-UL
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-400MK3-UL
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 流量：1SLM ガス：H2
- 管理番号
- Z21080377
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | H2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 1 SLM |
| 現品銘板の型式 | SEC-400MK3-UL(STEC INC. MADE IN JAPAN) |
SEC-400MK3-UL の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | H2(水素、直接校正) |
|---|---|
| コンバージョンファクタ(C.F.) | 1.00(H2基準) |
| 流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±2%以内(MARK3の場合) |
| 直線性 | ±1%以内(MARK3の場合) |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
| 耐圧 | 1000 kPa |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50℃(精度保証15〜35℃) |
| 流量設定信号 | 0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) |
| 流量出力信号 | 0〜5VDC(最小負荷抵抗2kΩ) |
| 駆動電源 | +15V±5%DC 60mA／-15V±5%DC 60mA |
※校正ガスと流量は現品の銘板から読み取った値。同じ型式でもガス種とフルスケールは個体ごとに違う。
※精度・応答などの性能値は社内保管の「高品位マスフローコントローラ SEC-4000シリーズ(HORIBA)」の主な仕様から取った。SEC-400MK3 は同シリーズの MARK3 世代として当てているので、細部が違う可能性がある。
※水素で直接校正された個体。可燃性ガスを流した履歴がある点に注意。
※他のガスで使うときは換算係数が必要。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
堀場エステック Stec SEC-400MK3-UL の装置概要 AIによる記述です
ガスの質量流量を熱式センサで検出し、内蔵の制御バルブで設定値どおりに流量を保つマスフローコントローラーです。半導体製造装置や成膜装置、研究用のガス供給ラインなどで、プロセスガスを一定量で安定して送る用途に使われます。現品は水素(H2)で直接校正されており、フルスケール流量は1 SLM、コンバージョンファクタは1.00(H2基準)です。
流量制御範囲は2〜100%F.S.、応答速度は1秒以内(T98)です。流量精度は±2%以内、直線性は±1%以内、繰返性は±0.2%F.S.とされています。耐圧は1000 kPa、使用可能周囲温度は5〜50℃(精度保証15〜35℃)です。流量設定は0.1〜5VDCのアナログ電圧信号(入力インピーダンス1MΩ以上)で与え、実流量は0〜5VDC(最小負荷抵抗2kΩ)で出力されます。駆動電源は+15V±5%DC 60mAと-15V±5%DC 60mAの両電源です。
同じ型式でも校正ガスとフルスケールは個体ごとに異なります。水素以外のガスで使う場合は換算係数による補正が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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