中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック
型式SEC-400MK3-UL
年式表記：
仕様:流量：1SLM ガス：H2
仕様:流量：1SLM ガス：H2
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種ガス制御用途で広く利用されているアナログ制御方式の熱式マスフローコントローラーです。高分解能の比例電磁弁と熱式流量センサーを搭載し、外部環境の温度や圧力変動に影響されず、安定したガスの質量流量計測とフィードバック制御を行います。
応答時間はフルスケールの±2%以内に整定するまで約1秒と、高速かつ安定した制御を実現しており、流量制御範囲はフルスケールの2%から100%まで幅広くカバーしています。流量精度はフルスケールに対して±1.0%以内の高精度を維持し、直線性（±0.5% F.S.）や再現性（±0.2% F.S.）においても優れた性能を備えています。
駆動には±15Vの直流電源を使用し、外部からの0〜5VDCのアナログ電圧信号によって目標流量を設定します。同時に、計測された流量モニター値も0〜5VDCのアナログ信号として出力されるため、外部のPLCやデータロガーとの連携が容易に行えます。本体はコンパクトに設計されており、既存のガスパネルや配管システムへの組み込みに適しています。研究開発設備から生産ラインのガス供給システムまで、幅広い流量制御プロセスに対応可能な汎用性の高いコンポーネントです。
【AIによる参考仕様】
流量制御範囲：2 ～ 100% F.S.
応答時間：約1秒（F.S.の±2%以内への整定時間）
流量精度：±1.0% F.S.
直線性：±0.5% F.S.
再現性：±0.2% F.S.
設定入力信号：0 ～ 5 VDC
流量出力信号：0 ～ 5 VDC
駆動電源：±15 VDC（±5%）
使用周囲温度範囲：5 ～ 45 ℃
耐圧（許容最大圧力）：約1.0 MPa(G) ※仕様により変動
バルブ作動方式：比例電磁弁（ノーマルクローズなど）
※適合ガス種、フルスケール流量（F.S.）、および配管接続用継手の形状（VCR、Swagelokなど）は個体ごとに異なります。正確な仕様については、必ず実機側面に貼付されている銘板をご確認ください。
本装置は、半導体製造プロセスや各種ガス制御用途で広く利用されているアナログ制御方式の熱式マスフローコントローラーです。高分解能の比例電磁弁と熱式流量センサーを搭載し、外部環境の温度や圧力変動に影響されず、安定したガスの質量流量計測とフィードバック制御を行います。
応答時間はフルスケールの±2%以内に整定するまで約1秒と、高速かつ安定した制御を実現しており、流量制御範囲はフルスケールの2%から100%まで幅広くカバーしています。流量精度はフルスケールに対して±1.0%以内の高精度を維持し、直線性（±0.5% F.S.）や再現性（±0.2% F.S.）においても優れた性能を備えています。
駆動には±15Vの直流電源を使用し、外部からの0〜5VDCのアナログ電圧信号によって目標流量を設定します。同時に、計測された流量モニター値も0〜5VDCのアナログ信号として出力されるため、外部のPLCやデータロガーとの連携が容易に行えます。本体はコンパクトに設計されており、既存のガスパネルや配管システムへの組み込みに適しています。研究開発設備から生産ラインのガス供給システムまで、幅広い流量制御プロセスに対応可能な汎用性の高いコンポーネントです。
【AIによる参考仕様】
流量制御範囲：2 ～ 100% F.S.
応答時間：約1秒（F.S.の±2%以内への整定時間）
流量精度：±1.0% F.S.
直線性：±0.5% F.S.
再現性：±0.2% F.S.
設定入力信号：0 ～ 5 VDC
流量出力信号：0 ～ 5 VDC
駆動電源：±15 VDC（±5%）
使用周囲温度範囲：5 ～ 45 ℃
耐圧（許容最大圧力）：約1.0 MPa(G) ※仕様により変動
バルブ作動方式：比例電磁弁（ノーマルクローズなど）
※適合ガス種、フルスケール流量（F.S.）、および配管接続用継手の形状（VCR、Swagelokなど）は個体ごとに異なります。正確な仕様については、必ず実機側面に貼付されている銘板をご確認ください。