中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-4400Rのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高精度な流量制御を実現する熱式質量流量コントローラ（マスフローコントローラー）です。デジタルインターフェースを搭載し、再現性の高い高速応答（約1秒）と優れた直線性・経時安定性を備えている点が特徴です。本個体は「ガス種：O2（酸素）」、「最大流量：10000SCCM（10SLM）」の設定・調整が施されています。半導体製造プロセスや各種分析装置、産業用のガス混合・供給ラインなど、精密な気体流量制御が求められる用途に幅広く対応します。実績のある頑強な構造とメタルシール構造の採用により、漏れ（リーク）特性にも優れ、クリーンかつ安定したプロセス環境の維持に貢献します。

【AIによる参考仕様】
※以下はメーカー公表の同シリーズにおける代表的な仕様値です。本中古品の現有状態や校正状況により異なる場合があります。

* **対応ガス種（工場出荷時設定）**: O2（酸素）
* **フルスケール流量**: 10000 SCCM (10 SLM)
* **制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.
* **流量精度**: ±1.0% F.S. (または読み値に対する規定精度、仕様により異なる)
* **応答速度**: 1秒以下（典型値）
* **シール構造**: メタルシール
* **動作差圧範囲**: 100 kPa ～ 300 kPa (仕様・流量により異なる場合があります)
* **耐圧**: 1.0 MPa (G)
* **外部リークレート**: 1.0 × 10^-11 Pa・m3/sec (He) 以下
* **周囲動作温度**: 5 ～ 50 ℃
* **接ガス部材質**: SUS316L、ポリイミド、フッ素ゴム等 (メタルシール仕様のため、ガス接触部は主に高耐食性金属)
* **電気接続/インターフェース**: D-sub 9ピン（または仕様により各種デジタル/アナログインターフェース）