中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-4400Mのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種薄膜堆積プロセスなどで広く採用されている、メタルシール構造の熱式質量流量コントローラ（MFC）です。流量制御の心臓部には応答性に優れたピエゾアクチュエータ駆動バルブを搭載しており、設定変更に対して1秒以下という高速な応答性能を実現しています。ガス接触部には高い耐食性を備えた金属材料とメタルシールが使用されているため、反応性や腐食性の高い臭化水素（HBr）ガスに対しても優れた耐久性を発揮し、クリーンかつ安全なガス供給ラインを構築できます。本個体はフルスケール流量100SCCMの仕様となっており、微小流量における精密なプロセス制御や再現性の高い流量管理を求める用途に最適です。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: HBr（臭化水素）
* **フルスケール流量**: 100 SCCM
* **流量制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
* **バルブ形式**: ピエゾ駆動バルブ、ノーマリークローズ（N.C.）
* **制御精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答速度**: 1.0秒以内（目標流量の±2%以内への到達時間）
* **外観シール構造**: メタルシール
* **外部リークレート**: 1.0×10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下
* **動作温度範囲**: 5 ～ 50℃
* **最大動作圧力**: 300 kPa（一次側圧力制限）
* **耐圧**: 1.0 MPa
* **継手サイズ**: 1/4インチ VCR相当
* **電気接続**: D-sub 9ピン
* **駆動電源**: DC ±15V（±5%）