中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-4400M
見積・送料・動作確認の結果をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。
- 実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
- 大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-4400M
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:HBr 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331046
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | HBr |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
| 現品銘板の型式 | SEC-4400M(STEC INC.) |
SEC-4400M の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | HBr(臭化水素) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.977(N2基準) |
| バルブ型式 | C(ノーマリクローズ、銘板の VALVE 欄) |
| 接ガス部材質 | SUS-316L(Mタイプ) |
| 流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1%F.S. |
| 直線性 | ±0.5%F.S. |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹¹Pa·m³/s(He)以下(Mタイプ) |
| 耐圧 | 1000 kPa |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50℃(精度保証15〜35℃) |
| 流量設定信号 | 0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) |
※校正ガスと流量は現品の銘板から読み取った値。同じ型式でもガス種とフルスケールは個体ごとに違う。
※性能値は社内保管の「高品位マスフローコントローラ SEC-4000シリーズ(HORIBA)」の主な仕様から転記した型式一般の値。
※校正ガス以外で使うときは換算係数が必要。
※臭化水素(HBr)は強い腐食性・毒性のあるガス。流した履歴があるため、洗浄状態の確認を勧める。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
堀場エステック Stec SEC-4400M の装置概要 AIによる記述です
プロセスガスの質量流量を測りながら、外部から与えた設定値に合わせて流量を一定に保つマスフローコントローラーです。流量センサーの出力と設定信号を比べ、内蔵の制御バルブの開度を調整して流量を制御します。現品の銘板では校正ガスがHBr(臭化水素)、フルスケールが100 SCCMで、窒素換算のコンバージョンファクタは0.977(N2基準)です。バルブはC(ノーマリクローズ)です。接ガス部はSUS-316L(Mタイプ)で、外部リークレートは1×10⁻¹¹Pa·m³/s(He)以下とされています。
型式一般の性能は、流量制御範囲2〜100%F.S.、応答速度1秒以内(T98)、流量精度±1%F.S.、直線性±0.5%F.S.、繰返性±0.2%F.S.です。耐圧は1000 kPa、使用可能周囲温度は5〜50℃(精度保証15〜35℃)で、流量設定信号は0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)のアナログ電圧で与えます。
同じ型式でも校正ガスとフルスケールは個体ごとに異なり、校正ガス以外で使う場合は換算係数が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
ほかのマスフローコントローラー（MFC）の在庫
マスフローコントローラー（MFC）の在庫をすべて見る(221点) ›
マスフローコントローラー（MFC）の買取も行っています
不要になったマスフローコントローラー（MFC）がありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。