中古 堀場エステック Stec マスフローコントローラー（MFC） SEC-F440M
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- メーカー
- 堀場エステック Stec
- 型式
- SEC-F440M
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:2%B2H6/N2 流量:1LM
- 管理番号
- Z230331053
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | B2H6 |
|---|---|
| 濃度 | 2 % |
| 希釈ガス | N2 |
| 流量(フルスケール) | 1 LM |
| 現品銘板の型式 | SEC-F440M A1(STEC) |
SEC-F440M の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | 2%B2H6/N2(ジボラン2%の窒素希釈) |
|---|---|
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.979(N2基準) |
| バルブ型式 | C(ノーマリクローズ、銘板の VALVE 欄) |
| 外部接続 | 15ピン D-subコネクタ |
| 本体機能 | ALARM LED、AUTO ZERO SW(自動ゼロ点調整スイッチ) |
| 接ガス部材質 | SUS-316L(Mタイプ) |
| 流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1%F.S. |
| 直線性 | ±0.5%F.S. |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹¹Pa·m³/s(He)以下(Mタイプ) |
| 耐圧 | 1000 kPa |
※校正ガスと流量は現品の銘板から読み取った値。同じ型式でもガス種とフルスケールは個体ごとに違う。
※性能値は社内保管の「高品位マスフローコントローラ SEC-4000シリーズ(HORIBA)」の主な仕様から転記した型式一般の値。SEC-F440M 固有の値と細部が違う可能性がある。
※ジボラン(B2H6)は毒性・自然発火性の高いガス。希釈品とはいえ流した履歴があるため、洗浄状態の確認を勧める。
※校正ガス以外で使うときは換算係数が必要。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
堀場エステック Stec SEC-F440M の装置概要 AIによる記述です
半導体製造装置などのガス供給ラインに組み込み、外部からの設定信号に従ってガスの質量流量を計測しながら一定に制御するマスフローコントローラーです。現品の校正ガスは2%B2H6/N2(ジボラン2%の窒素希釈)、フルスケール流量は1 LM、N2基準の窒素換算コンバージョンファクタは0.979です。バルブはノーマリクローズ型で、制御信号が無いときは閉じた状態を保ちます。外部との接続は15ピン D-subコネクタで、本体にはALARM LEDと自動ゼロ点調整用のAUTO ZERO SWを備えます。
接ガス部はSUS-316L製のMタイプです。シリーズ一般の仕様では、流量制御範囲2〜100%F.S.、応答速度1秒以内、流量精度±1%F.S.、直線性±0.5%F.S.、繰返性±0.2%F.S.、外部リークレート1×10⁻¹¹Pa·m³/s(He)以下、耐圧1000 kPaとされています。
校正ガス以外で使う場合は換算係数による補正が必要です。ガス種とフルスケールは個体ごとに異なり、性能値はシリーズ一般の値のため、この型式固有の値とは細部が異なる可能性があります。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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