中古機 クライオコンプレッサー アイシン製、型式TAC411LVのご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、真空排気システムに組み込まれるクライオポンプへ高純度ヘリウムガスを圧縮・循環して供給するための水冷式ヘリウムコンプレッサーです。主に半導体製造装置やスパッタリング装置、電子顕微鏡などの高真空・超高真空環境を構築するプロセスにおいて、ポンプ内部の極低温状態を維持するための冷却源として機能します。

本モデルの「LV」は、国内の標準的な工場設備で直接稼働させやすい三相200V帯（Low Voltage）に対応した仕様です。冷却方式に水冷式を採用しているため、装置本体からの排熱が極めて少なく、クリーンルームや室温管理が厳密な環境下における空調負荷を低減できる点が大きな特徴です。内部の圧縮機構にはスクロール型を採用しており、連続運転時の振動や騒音を抑えつつ、安定したヘリウムガスの圧縮性能を長期間維持します。また、ガス漏洩を防ぐ密閉性の高い構造が施されており、主に8インチから10インチクラスのクライオポンプの駆動用途として利用される標準的な能力を備えています。

【AIによる参考仕様】
圧縮機形式：スクロール型
冷却方式：水冷式
使用ガス：高純度ヘリウムガス (純度99.999%以上)
電源仕様：三相 200V (50Hz) / 200-220V (60Hz)
モーター出力：3.7 kW
定格消費電力：約 4.5 kW
冷却水流量：5.0 ～ 10.0 L/min
冷却水供給温度：10 ～ 25 ℃
使用環境温度：5 ～ 35 ℃
ガス配管接続：1/2インチ セルフシーリングカップリング
冷却水配管接続：Rc 3/8 (PT 3/8)
外形寸法 (幅×奥行×高さ)：約 450 × 500 × 585 mm
本体質量：約 115 kg