中古機 クライオコンプレッサー アルバック　Ulvac製、型式C10Tのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高真空排気システムにおいてクライオポンプ本体を極低温に冷却するために不可欠な、高純度ヘリウムガスを圧縮・供給するための専用コンプレッサーユニットです。主に8インチから10インチクラスの中型クライオポンプ（CRYO-U8HやCRYO-U10Pなど）との組み合わせで運用され、半導体製造プロセス、真空蒸着、スパッタリング装置などにおける高真空・超高真空環境の安定した構築に貢献します。

内部には高効率な圧縮機構を備え、システム内を循環するヘリウムガスの圧縮過程で発生する熱を水冷方式によって冷却します。水冷式を採用しているため、空冷式と比較して設置環境の室温変動による影響を受けにくく、クリーンルーム内への排熱を最小限に抑えることが可能です。また、ユニット内にはオイルセパレータ（油分離器）およびアドソーバー（吸着器）が搭載されており、圧縮されたヘリウムガスから微量な潤滑油成分や不純物を確実に取り除き、クライオポンプ内部への油分流入を防ぐクリーンなガス循環サイクルを実現しています。

稼働には三相200Vの電源と、適切な流量（約3～5 L/min）および温度管理がなされた冷却水の供給が必要です。中古機器として導入および立ち上げを行う際は、アドソーバーの定期交換履歴や通算稼働時間、ならびに停止時・運転時のヘリウムガス圧力がメーカー規定の静圧（約1.5～1.6 MPa程度）に維持されているかどうかの確認が推奨されます。

【AIによる参考仕様】
冷却方式：水冷式
適合クライオポンプ例：CRYO-U8H、CRYO-U10P 等
電源：三相 200V (50/60Hz)
ヘリウムガス封入圧力（静圧）：約 1.5 ～ 1.6 MPa
冷却水流量：3.0 ～ 5.0 L/min
冷却水供給温度：10 ～ 25 ℃
吸着器（アドソーバー）交換目安：約 30,000 時間
本体重量：約 74 kg
※記載の数値は新品時の標準的なカタログデータに基づく参考値であり、製造年代や細かな仕様変更によって実機と異なる場合があります。