中古機 クライオコンプレッサー 岩谷産業製、型式CA112のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、極低温冷凍機やクライオポンプのコールドヘッド（膨張機）へ高圧のヘリウムガスを安定的に供給するための専用圧縮機です。冷却水設備を必要としない空冷式を採用しているため、付帯設備や配管工事のコストを抑えることができ、空調管理された環境であれば電源の接続のみで容易に設置・稼働が可能です。

装置内部には、高効率な圧縮ユニットに加え、オイルセパレータおよびアドソーバー（吸着器）が標準搭載されています。これにより、圧縮過程で生じる微量の潤滑油蒸気や不純物ガスを高精度に除去し、純度99.999%以上のクリーンなヘリウムガスをコールドヘッドへと循環させます。極低温下における不純物の凍結や配管の閉塞トラブルを未然に防ぎ、真空・冷却システムの長期間にわたる安定した連続運転を支えます。

主な用途として、半導体製造装置における高真空排気プロセス、真空蒸着装置、スパッタリング装置のほか、各種理化学研究機器など、クリーンかつ極低温環境が要求されるシステムに広く適用されます。定格消費電力は50Hz時で約1.3kW、60Hz時で約1.5kWとコンパクトな設計でありながら、信頼性の高いガス供給能力を備えています。

【AIによる参考仕様】
冷却方式：空冷式
対象冷媒：高純度ヘリウムガス (純度99.999%以上)
定格電源：三相 AC200V 50/60Hz
消費電力：1.3 kW (50Hz) / 1.5 kW (60Hz)
使用周囲温度範囲：5 ～ 35 ℃
質量：約 75 kg
外形寸法 (幅×奥行×高さ)：約 450 × 480 × 595 mm