中古機 クライオコンプレッサー 岩谷産業製、型式CA301のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高真空および超高真空環境を構築する真空排気システムにおいて、クライオポンプの駆動源として機能するヘリウムコンプレッサーです。主に半導体製造装置、スパッタリング装置、真空蒸着装置などのプロセスに組み込まれ、クライオポンプ内で極低温を作り出すために不可欠な高純度ヘリウムガスを圧縮・循環させる役割を担います。

システム内部では、純度99.999%以上のヘリウムガスが密閉循環しています。本機によって約2.0〜2.2MPaまで高圧に圧縮されたヘリウムガスは、クライオポンプ側の膨張機（コールドヘッド）へと送られ、断熱膨張を繰り返すことで10K〜15K（極低温）の冷却能力を発生させます。膨張して低圧（約0.5〜0.7MPa）となったガスは再び本機へと戻り、内蔵されたオイルセパレーターやアドソーバー（吸着器）を通過します。これにより、コンプレッサーの潤滑油ミストや不純物が徹底的に除去され、常にクリーンな状態のヘリウムガスが循環する仕組みとなっています。

本機は冷却水設備を必要としない空冷式を採用しているため、水冷配管の敷設が困難な環境でも導入しやすく、設置レイアウトの自由度が高い点が特徴です。約3.0kWクラスの定格出力を備えており、主に8インチ口径クラスの標準的なクライオポンプ1台の駆動に適しています。長時間の連続稼働を前提とした堅牢な設計がなされており、真空装置の安定した排気性能と冷却能力の維持に貢献します。

【AIによる参考仕様】
冷却方式：空冷式
適合流体：高純度ヘリウムガス（純度99.999%以上）
電源：AC200V 三相 50/60Hz
モーター定格出力：約 3.0 kW
ヘリウム充填圧力（静止時）：約 1.5 ～ 1.6 MPa
運転時圧力（高圧側）：約 2.0 ～ 2.2 MPa
運転時圧力（低圧側）：約 0.5 ～ 0.7 MPa
周囲使用環境温度：5℃ ～ 35℃
外形寸法（概略値）：約 W450 × D550 × H850 mm
重量：約 140 kg
※上記は標準的な基本仕様です。製造時期やマイナーチェンジ等により、実機の仕様数値が一部異なる場合があります。