中古 クライオコンプレッサー
メーカー名
アルバック Ulvac
型式C30VR
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
500,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高真空および超高真空環境を構築するクライオポンプシステムにおいて、作動流体となる高純度ヘリウムガスを圧縮・循環させるための水冷式コンプレッサーユニットです。主に口径8インチから10インチクラスのクライオポンプ（CRYO-U8HやCRYO-U10Hなど）1台を駆動する能力を備えており、真空排気システムの心臓部として機能します。
圧縮機構にはロータリー式を採用しており、安定したヘリウムガスの供給と長期間の信頼性を両立しています。定常運転時の入力電力は50Hz環境で約3.1kW、60Hz環境で約3.6kW〜3.9kWであり、装置の排熱処理のために4.0〜10.0 L/minの冷却水供給が必要です。
また、圧縮過程で混入する微量の油分や不純物を除去し、純度の高いヘリウムガスをポンプへ送るための吸着器（アドソーバー）を内蔵しています。このアドソーバーの標準的な交換推奨サイクルは約30,000時間と長く設定されており、メンテナンス頻度を抑えた連続運転が可能です。半導体製造装置、真空蒸着装置、スパッタリング装置など、クリーンかつ高い排気性能が継続的に求められる真空プロセスにおいて、安定した冷却駆動力をシステム全体に提供します。
【AIによる参考仕様】
電源：三相 AC200V (50Hz) / AC200V, 220V (60Hz)
定常入力電力：3.1 kW (50Hz) / 3.6 kW (200V 60Hz) / 3.9 kW (220V 60Hz)
定常入力電流：11.5 A (50Hz) / 12.0 A (200V 60Hz) / 12.0 A (220V 60Hz)
冷却方式：水冷式
冷却水流量：4.0 〜 10.0 L/min
冷却水供給温度：10 〜 32 ℃
使用周囲温度：10 〜 35 ℃
使用冷媒ガス：高純度ヘリウムガス（純度99.999%以上）
外形寸法：幅 440 × 奥行 530 × 高さ 565 mm
質量：約 105 kg
アドソーバー交換目安：約 30,000 時間
主な適合クライオポンプ（単体接続）：CRYO-U8H, CRYO-U10H
本装置は、高真空および超高真空環境を構築するクライオポンプシステムにおいて、作動流体となる高純度ヘリウムガスを圧縮・循環させるための水冷式コンプレッサーユニットです。主に口径8インチから10インチクラスのクライオポンプ（CRYO-U8HやCRYO-U10Hなど）1台を駆動する能力を備えており、真空排気システムの心臓部として機能します。
圧縮機構にはロータリー式を採用しており、安定したヘリウムガスの供給と長期間の信頼性を両立しています。定常運転時の入力電力は50Hz環境で約3.1kW、60Hz環境で約3.6kW〜3.9kWであり、装置の排熱処理のために4.0〜10.0 L/minの冷却水供給が必要です。
また、圧縮過程で混入する微量の油分や不純物を除去し、純度の高いヘリウムガスをポンプへ送るための吸着器（アドソーバー）を内蔵しています。このアドソーバーの標準的な交換推奨サイクルは約30,000時間と長く設定されており、メンテナンス頻度を抑えた連続運転が可能です。半導体製造装置、真空蒸着装置、スパッタリング装置など、クリーンかつ高い排気性能が継続的に求められる真空プロセスにおいて、安定した冷却駆動力をシステム全体に提供します。
【AIによる参考仕様】
電源：三相 AC200V (50Hz) / AC200V, 220V (60Hz)
定常入力電力：3.1 kW (50Hz) / 3.6 kW (200V 60Hz) / 3.9 kW (220V 60Hz)
定常入力電流：11.5 A (50Hz) / 12.0 A (200V 60Hz) / 12.0 A (220V 60Hz)
冷却方式：水冷式
冷却水流量：4.0 〜 10.0 L/min
冷却水供給温度：10 〜 32 ℃
使用周囲温度：10 〜 35 ℃
使用冷媒ガス：高純度ヘリウムガス（純度99.999%以上）
外形寸法：幅 440 × 奥行 530 × 高さ 565 mm
質量：約 105 kg
アドソーバー交換目安：約 30,000 時間
主な適合クライオポンプ（単体接続）：CRYO-U8H, CRYO-U10H