中古機 クライオコンプレッサー 鈴木商館製、型式C103Kのご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、高真空排気プロセスで用いられるクライオポンプに対し、高圧かつ高純度のヘリウムガスを連続的かつ安定して供給するための専用コンプレッサーです。圧縮機構によって昇圧されたヘリウムガスを閉回路内で循環させることで、クライオポンプ内部の冷凍機（エキスパンダー）を駆動させ、極低温環境を構築する中核的な役割を担います。

動作時に発生する圧縮熱を効率的に処理するため、本機は水冷式の冷却システムを採用しており、熱負荷の高い環境下でも安定した連続運転が可能です。また、筐体内部には高性能なオイルセパレーターおよびアドソーバー（吸着器）が組み込まれており、循環ガス中に含まれる潤滑油のミストや微小な不純物を徹底的に除去します。これにより、極低温部での不純物凍結による性能低下を防ぎ、長期間にわたる高い排気性能の維持に貢献します。

半導体製造装置やスパッタリング、真空蒸着装置など、シビアな高真空環境が求められる産業プロセスにおいて、中型から大型クラスのクライオポンプを安定駆動させるための堅牢な設計が施されています。

【AIによる参考仕様】
冷却方式：水冷
使用ガス：純ヘリウムガス（純度99.999%以上）
入力電源：三相 AC200V (50/60Hz)
定格消費電力：約 3.0 ～ 3.5 kW
充填圧力（静圧）：1.40 ～ 1.60 MPa
冷却水流量：4.0 ～ 6.0 L/min
冷却水供給圧力：0.15 ～ 0.40 MPa
許容冷却水温度：10 ～ 25 ℃
使用周囲温度：5 ～ 35 ℃
接続口径（サプライ/リターン）：1/2インチ エアロキップ継手
質量：約 115 kg