中古 クライオコンプレッサー
メーカー名
アルバック Ulvac
型式C30VR
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
500,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高真空排気用途のクライオポンプシステムにおいて、冷凍機へ高圧の高純度ヘリウムガスを循環供給するための水冷式ヘリウムコンプレッサーユニットです。三相200V電源で稼働し、定格入力電力は50Hz環境下で約3.0kW、60Hz環境下で約3.5kWで設計されています。主に同社製の8インチから14インチクラスのクライオポンプ（CR-8、CR-10、CR-14など）の駆動用として利用される、中・大容量向けのコンポーネントです。
冷却方式には水冷式を採用しており、稼働中のコンプレッサー本体からの発熱を効率的に除去します。運用には水温10〜30℃、流量4〜10L/minの冷却水供給が必要ですが、空冷式と比較して設置周辺への排熱が極めて少なく、クリーンルーム内や温度管理が厳格な環境下での使用に適しています。
内部には高性能なオイルセパレーター（油分離機構）を備えており、圧縮過程で混入する潤滑油成分を徹底的に分離・除去します。これにより、クライオポンプ内の極低温部に純度の高いヘリウムガスを安定して供給し続け、長期間の連続運転におけるシステムの信頼性と真空排気性能の維持に貢献します。
【AIによる参考仕様】
冷却方式：水冷
対応電源：三相 AC200V (50/60Hz) / AC220V (60Hz)
定格入力電力：3.0 kW (50Hz) / 3.5 kW (60Hz)
定格動作電流：約 11 A
冷却水流量要件：4 ～ 10 L/min
許容冷却水温度：10 ～ 30 ℃
必要冷却水圧力（差圧）：0.1 ～ 0.3 MPa
許容周囲温度（稼働時）：5 ～ 35 ℃
ヘリウムガス静圧（充填圧力）：1.5 ～ 1.6 MPa (20℃基準)
概略外形寸法（幅×奥行×高さ）：435 × 540 × 565 mm
概略質量：約 110 kg
主な対応クライオポンプ：CR-8、CR-10、CR-14など
本装置は、高真空排気用途のクライオポンプシステムにおいて、冷凍機へ高圧の高純度ヘリウムガスを循環供給するための水冷式ヘリウムコンプレッサーユニットです。三相200V電源で稼働し、定格入力電力は50Hz環境下で約3.0kW、60Hz環境下で約3.5kWで設計されています。主に同社製の8インチから14インチクラスのクライオポンプ（CR-8、CR-10、CR-14など）の駆動用として利用される、中・大容量向けのコンポーネントです。
冷却方式には水冷式を採用しており、稼働中のコンプレッサー本体からの発熱を効率的に除去します。運用には水温10〜30℃、流量4〜10L/minの冷却水供給が必要ですが、空冷式と比較して設置周辺への排熱が極めて少なく、クリーンルーム内や温度管理が厳格な環境下での使用に適しています。
内部には高性能なオイルセパレーター（油分離機構）を備えており、圧縮過程で混入する潤滑油成分を徹底的に分離・除去します。これにより、クライオポンプ内の極低温部に純度の高いヘリウムガスを安定して供給し続け、長期間の連続運転におけるシステムの信頼性と真空排気性能の維持に貢献します。
【AIによる参考仕様】
冷却方式：水冷
対応電源：三相 AC200V (50/60Hz) / AC220V (60Hz)
定格入力電力：3.0 kW (50Hz) / 3.5 kW (60Hz)
定格動作電流：約 11 A
冷却水流量要件：4 ～ 10 L/min
許容冷却水温度：10 ～ 30 ℃
必要冷却水圧力（差圧）：0.1 ～ 0.3 MPa
許容周囲温度（稼働時）：5 ～ 35 ℃
ヘリウムガス静圧（充填圧力）：1.5 ～ 1.6 MPa (20℃基準)
概略外形寸法（幅×奥行×高さ）：435 × 540 × 565 mm
概略質量：約 110 kg
主な対応クライオポンプ：CR-8、CR-10、CR-14など