中古機 クライオコンプレッサー アルバック　Ulvac製、型式C10ESのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、クライオポンプシステムにおいて、冷凍機へ高圧・高純度のヘリウムガスを供給および循環させるための専用コンプレッサーユニットです。密閉型の圧縮機を搭載し、長期にわたる安定したガス循環と高い信頼性を確保しています。本体内部にはアドソーバー（吸着器）が組み込まれており、圧縮過程で混入する可能性のある微量のオイルミストや不純物を確実に取り除き、クライオポンプのコールドヘッドへ極めてクリーンなヘリウムガスを供給する役割を担います。

主に中小型クラスのクライオポンプとの組み合わせに最適化されており、半導体製造装置、真空蒸着装置、スパッタリング装置などで求められる高真空環境の構築・維持に貢献します。冷却方式は水冷式を採用しており、空冷式と比べて周囲への排熱や騒音が抑えられるため、クリーンルーム内や室温管理が厳格な設備環境への導入に適しています。

中古設備として導入を検討される際は、アドソーバーの累積稼働時間や交換履歴の確認が推奨されます。また、安定稼働の指標として、停止時のヘリウムガス静圧（充填圧力）が規定値を満たしているか、および冷却水系統の配管に詰まりがないかの事前確認が重要となります。

【AIによる参考仕様】
冷却方式：水冷式
冷媒ガス：ヘリウム（要求純度99.999%以上）
駆動電源：三相 AC200V (50/60Hz)
消費電力：約 1.1 〜 1.5 kW
ヘリウムガス充填圧力（静圧）：約 1.50 MPa（20℃基準）
定常時高圧側圧力：約 2.0 〜 2.2 MPa
定常時低圧側圧力：約 0.5 〜 0.7 MPa
冷却水流量：3.0 L/min 以上
冷却水入口温度：10 〜 30 ℃
冷却水供給圧力：0.2 〜 0.4 MPa
ヘリウム配管接続：1/2インチ Aeroquipカップリング（Supply / Return）
アドソーバー交換目安：約 10,000 時間
概略寸法（幅×奥行×高さ）：約 350 × 450 × 550 mm
概略質量：約 60 kg