中古機 クライオコンプレッサー 鈴木商館製、型式C103Kのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、極低温真空環境を構築するクライオポンプシステムに対して、高圧かつ高純度のヘリウムガスを供給するための水冷式ヘリウムコンプレッサーです。クライオポンプ内部のエキスパンダー（膨張機）へヘリウムガスを循環・膨張させることで、極低温の冷却サイクルを維持する重要な役割を担います。

水冷式の冷却機構を採用しているため、空冷式と比較して周囲への排熱の影響が少なく、室温環境に依存しにくい安定した冷却効率を保ちながら長時間の連続運転が可能です。半導体製造プロセス、スパッタリング装置、真空蒸着装置をはじめとする、高真空および超高真空のクリーンな排気が要求される設備において広く活用されています。

同シリーズ内では出力に応じて複数のモデルが展開されていますが、本機は中型クラスのクライオポンプ駆動に最適化された圧縮能力とヘリウムガス流量を備えています。運用にあたっては、三相200Vの動力電源に加え、指定要件を満たす冷却水循環設備が必要となります。装置の性能を維持するためには、実機の稼働時間に応じた定期的なアドソーバ（油吸着器）の交換や、規定のヘリウムガス静圧の確認・補填が推奨されます。

【AIによる参考仕様】
冷却方式：水冷式
電源電圧：三相 AC200V 50/60Hz
使用冷媒：高純度ヘリウムガス（純度99.999%以上）
静的ヘリウム充填圧力：約 1.5 ～ 1.6 MPa（室温20℃時）
冷却水流量要件：5.0 ～ 8.0 L/min
冷却水入口温度：10 ～ 25 ℃
圧縮機モーター定格：約 3.0 kW
質量：約 110 kg
備考：上記はAIによる参考仕様です。製造時期やマイナーチェンジにより実際の数値と一部異なる場合があるため、正確な仕様は実機の銘板および取扱説明書をご確認ください。