中古機 クライオコンプレッサー アルバック　Ulvac製、型式C30のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、極低温真空ポンプ（クライオポンプ）システムにおいて、冷凍機（エキスパンダー）を駆動させるための高圧ヘリウムガスを圧縮・循環供給する専用のコンプレッサーユニットです。クライオポンプを利用した超高真空排気環境を構築・維持するための重要な駆動源として機能します。

水冷式の圧縮機構を採用しており、安定した熱交換を行うことで長時間の連続運転においても信頼性の高いガス供給を実現します。冷却水量は4～10 L/min（水温10～32℃）の範囲で運用され、装置内部で発生する圧縮熱を効率よく排出します。

電源には三相200V（50/60Hz）を使用し、モータ定格出力は3.0kWに設計されています。純度99.999%以上の高純度ヘリウムガスをシステム内に封入し、規定の充填圧力（約1.6～1.7MPa）で密閉サイクルを構成することで、極低温を生成する膨張過程をサポートします。真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオン注入装置など、半導体や電子部品製造における高真空プロセス向けのシステムに広く用いられる仕様となっています。

【AIによる参考仕様】
冷却方式：水冷式
入力電源：三相 200V (50/60Hz)
モータ定格出力：3.0 kW
定格電流 (50/60Hz)：約 12 A / 13.5 A
消費電力 (50/60Hz)：約 3.3 kW / 3.9 kW
使用ガス：高純度ヘリウムガス (純度99.999%以上)
ヘリウムガス充填圧力：約 1.6 ～ 1.7 MPa
冷却水流量：4 ～ 10 L/min
冷却水温度範囲：10 ～ 32 ℃
外形寸法：約 450(W) × 520(D) × 585(H) mm
質量：約 115 kg