中古機 クライオコンプレッサー アネルバ　ANELVA製、型式CRC-870(CSW51)のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、高真空排気システムを構成するクライオポンプに対し、圧縮された高純度ヘリウムガスを供給するための水冷式ヘリウムコンプレッサーです。主に半導体製造装置、真空蒸着装置、スパッタリング装置など、高度な真空環境を必要とするプロセスにおいて、クライオポンプ内の極低温冷却サイクルを駆動・維持する中核設備として機能します。

内部の圧縮ユニットには実績のある水冷式機構が採用されており、ヘリウムガス圧縮工程で発生する熱を冷却水との熱交換によって効率的に処理します。空冷式コンプレッサーと比較して装置本体から周囲への排熱が極めて少ないため、クリーンルーム内や厳密な空調管理が行われている施設環境への設置に適しています。動作には三相200V（50/60Hz）の電源を使用し、約3.7kWクラスのモーターを駆動させることで、長時間の連続運転においても安定したガスの循環を実現します。

システムを正常に稼働させるためには、純度99.999%以上のヘリウムガスを使用し、装置停止時の静止圧力を約1.5〜1.6 MPaの範囲に維持する必要があります。これにより、接続されたクライオポンプ内のエキスパンダーを規定の効率で動作させることが可能です。また、安定した排熱処理を行うため、導入環境には指定の圧力および流量（約5〜10 L/min）を満たす冷却水循環設備の接続が必須となります。

【AIによる参考仕様】
冷却方式：水冷式
入力電源：三相 AC200V 50/60Hz
駆動モーター出力：約3.7 kW
使用冷媒：高純度ヘリウムガス（純度99.999%以上）
冷媒ガス静止圧力：約1.5〜1.6 MPa（環境温度20℃時）
冷却水必要流量：約5〜10 L/min
冷却水供給圧力：約0.2〜0.4 MPa
本体質量：約110〜120 kg