中古 RF電源
メーカー名
アルバック Ulvac
型式RFS-13100L
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
1,200,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造やフラットパネルディスプレイ（FPD）、太陽電池パネルなどの製造工程において、プラズマプロセス（スパッタリング、CVD、エッチングなど）を発生および維持させるために設計された大容量高周波電源です。
高精度な水晶発振方式を採用しており、工業用途として標準的な13.56MHzのRF電力を安定して出力します。出力インピーダンスは50Ωに最適化されており、専用のインピーダンス整合器（マッチングボックス）と組み合わせて使用することで、真空チャンバー内の変動するプラズマ負荷に対しても高効率な電力伝送を実現します。
最大定格出力は10kW（10,000W）に達し、大面積基板への均一な成膜処理や、高速レートでのプロセス処理など、高いプラズマ密度が要求される用途に適合するハイパワー仕様となっています。大出力に伴う内部発熱を効率的に処理するため、冷却システムには水冷式を採用しています。これにより、長時間の連続運転時でも装置内の温度上昇を抑制し、高い信頼性と安定した稼働状態を維持します。真空プラズマ装置の基幹ユニットとして、各種研究開発から量産ラインまで幅広く運用されている電源です。
【AIによる参考仕様】
発振周波数：13.56MHz
最大高周波出力：10kW (10,000W)
出力インピーダンス：50Ω
発振制御方式：水晶発振
冷却方式：水冷式
主な適用プロセス：スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチング等
本装置は、半導体製造やフラットパネルディスプレイ（FPD）、太陽電池パネルなどの製造工程において、プラズマプロセス（スパッタリング、CVD、エッチングなど）を発生および維持させるために設計された大容量高周波電源です。
高精度な水晶発振方式を採用しており、工業用途として標準的な13.56MHzのRF電力を安定して出力します。出力インピーダンスは50Ωに最適化されており、専用のインピーダンス整合器（マッチングボックス）と組み合わせて使用することで、真空チャンバー内の変動するプラズマ負荷に対しても高効率な電力伝送を実現します。
最大定格出力は10kW（10,000W）に達し、大面積基板への均一な成膜処理や、高速レートでのプロセス処理など、高いプラズマ密度が要求される用途に適合するハイパワー仕様となっています。大出力に伴う内部発熱を効率的に処理するため、冷却システムには水冷式を採用しています。これにより、長時間の連続運転時でも装置内の温度上昇を抑制し、高い信頼性と安定した稼働状態を維持します。真空プラズマ装置の基幹ユニットとして、各種研究開発から量産ラインまで幅広く運用されている電源です。
【AIによる参考仕様】
発振周波数：13.56MHz
最大高周波出力：10kW (10,000W)
出力インピーダンス：50Ω
発振制御方式：水晶発振
冷却方式：水冷式
主な適用プロセス：スパッタリング、プラズマCVD、ドライエッチング等