中古 アドテック ADTEC RF電源 AX-2000

高周波(RF)の電力を作り、整合器を通して真空容器の電極やアンテナへ送って、ガスをプラズマにするための電源。プラズマエッチングやプラズマCVD、スパッタリング、表面の洗浄や改質など、プラズマを使う装置に組み込んで使われる。プラズマのインピーダンスはガスの種類や圧力、電力で変わるため、ふつうは整合器と組み合わせ、反射を抑えながら電力を送る。
現品の銘板では、RF出力は2000W、入力電源はAC三相200V。設置には三相200Vの電源設備が要る。
出力周波数は銘板に記載が無く、メーカーの公式資料でも確かめられていない。出力の制御方式、外部制御のインターフェース、冷却方式、寸法・質量も分かっていないため、組み合わせる整合器や装置との接続は現品で確かめる必要がある。