中古 アネルバ ANELVA クライオポンプ CAP-160
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- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- アネルバ ANELVA
- 型式
- CAP-160
- 機種
- クライオポンプ
- 管理番号
- E100312
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CAP-160 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度 | 6,500 L/s |
|---|---|
| 排気速度(アルゴン) | 5,400 L/s |
| 排気速度(水素) | 7,000 L/s |
| 排気速度(水蒸気) | 17,000 L/s |
| 最大排気流量(アルゴン) | 1,200 SCM(取説表記) |
| 最大ガス瞬間許容量(窒素) | 80 Pa·m³ |
| 排気容量 | アルゴン300,000、水素6,400 Pa·m³ |
| 冷却降下時間 | 100/80 分(50/60Hz) |
| 最低到達温度 | 約10〜15 K |
| 最高ベーク温度 | 70 ℃ |
| 方式 | ヘリウム冷凍機式クライオポンプ(GMサイクル2段) |
| 質量 | 51 kg |
| 組み合わせる圧縮機 | CRC-870MKII(AC200V三相、質量148kg、水冷) |
| 取付方向 | 任意 |
※数値は社内保管の日電アネルバ CRYO ACE(CAP-120MKII/CAP-160/CAP-200)取扱説明書(2章 仕様)による
※到達圧力は取説の仕様表に記載がない(最低到達温度のみ)
※吸気口フランジは取説に「JIS、ASA、ICFの各種がある」とだけあり、呼び径の記載がないため行にしていない。実物のフランジで確認
※最大排気流量の単位「SCM」は取説表記のまま(標準状態cc/minの意と思われる)
出典: メーカー資料
アネルバ ANELVA CAP-160 の装置概要 AIによる記述です
極低温に冷やしたパネルに気体を凝縮・吸着させて排気する、ヘリウム冷凍機式のクライオポンプです。GMサイクル2段の冷凍機でパネルを約10〜15 Kまで冷やし、油を使わずに清浄な高真空を得られるため、スパッタリングや蒸着などの成膜装置の主排気に使われます。
排気速度は6,500 L/sで、アルゴンは5,400 L/s、水素は7,000 L/s、水蒸気は17,000 L/sです。排気容量はアルゴン300,000 Pa·m³、水素6,400 Pa·m³、冷却降下時間は100/80分(50/60Hz)、最高ベーク温度は70 ℃です。取付方向は任意で、質量は51 kgです。
運転には水冷の圧縮機CRC-870MKII(AC200V三相)を組み合わせます。吸気口フランジにはJIS、ASA、ICFの各種があり、呼び径は実物で確かめる必要があります。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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