中古 アネルバ ANELVA クライオポンプ CAP-120 Mark II

ヘリウムガスを冷媒とするGifford-McMahonサイクルの冷凍機で、クライオパネルを約50Kと約10Kの二段に冷やし、気体をパネル上に凝縮・吸着させて排気するクライオポンプです。油を使わないため、油汚染の無いクリーンな高真空・超高真空が得られ、スパッタ装置などの成膜装置の主排気ポンプとして使われてきました。
取扱説明書による排気速度は窒素4,000L/s、アルゴン3,300L/s、水素3,000L/s、水蒸気9,400L/sで、特に水蒸気に対して大きな排気速度を持ちます。アルゴンに対する最大排気流量は1,200SCM、室温からの冷却時間は80分です。ポンプ本体の質量は29.5kgで、取り付け向きは任意です。運転には別置きのヘリウムコンプレッサーユニット(取扱説明書の組み合わせはCRC-870、三相AC200V・水冷)と、フレキシブルホース2本、冷凍機駆動用ケーブルが必要です。