中古 アネルバ ANELVA クライオポンプ CAP-120 Mark II
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- メーカー
- アネルバ ANELVA
- 型式
- CAP-120 Mark II
- 機種
- クライオポンプ
- 備考
- O/H(オーバーホール)済み
- 管理番号
- ZZ261005001
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CAP-120 Mark II の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度(N2) | 4000 L/sec |
|---|---|
| 排気速度(Ar) | 3300 L/sec |
| 排気速度(H2) | 3000 L/sec |
| 排気速度(H2O) | 9400 L/sec |
| 最大排気流量(Ar) | 1200 SCCM |
| 冷却時間(室温から) | 80 min |
| 最大ベーク温度 | 70 ℃ |
| 質量 | 29.5 kg |
| 取付方向 | 任意 |
| 冷凍方式 | GMサイクル 2段(50K/10K) |
※社内の取扱説明書は CAP-120(Mark II の表記なし)のもの。Mark II で値が変わっている可能性がある
※運転には別売のヘリウムコンプレッサーユニットが必要
※SCM の表記は取説のまま SCCM と読んだ
出典: メーカー資料
アネルバ ANELVA CAP-120 Mark II の装置概要 AIによる記述です
ヘリウムガスを冷媒とするGifford-McMahonサイクルの冷凍機で、クライオパネルを約50Kと約10Kの二段に冷やし、気体をパネル上に凝縮・吸着させて排気するクライオポンプです。油を使わないため、油汚染の無いクリーンな高真空・超高真空が得られ、スパッタ装置などの成膜装置の主排気ポンプとして使われてきました。
取扱説明書による排気速度は窒素4,000L/s、アルゴン3,300L/s、水素3,000L/s、水蒸気9,400L/sで、特に水蒸気に対して大きな排気速度を持ちます。アルゴンに対する最大排気流量は1,200SCM、室温からの冷却時間は80分です。ポンプ本体の質量は29.5kgで、取り付け向きは任意です。運転には別置きのヘリウムコンプレッサーユニット(取扱説明書の組み合わせはCRC-870、三相AC200V・水冷)と、フレキシブルホース2本、冷凍機駆動用ケーブルが必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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