中古 アルバック Ulvac クライオポンプ CRYO-U6H
本体価格(税別、送料別)300,000円
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- CRYO-U6H
- 機種
- クライオポンプ
- 管理番号
- E12240145
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CRYO-U6H の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 排気速度 | 750 L/s |
|---|---|
| 排気速度(水素) | 1,100 L/s |
| 排気速度(アルゴン) | 620 L/s |
| 排気速度(水蒸気) | 2,100 L/s |
| 到達圧力 | 10⁻⁷ Pa |
| 最大流量 | アルゴン1.1×10³、水素1.1×10² Pa·L/s |
| 排気容量 | アルゴン5.6×10⁷、水素3.1×10⁵ Pa·L |
| 冷却降下時間 | 80/70 分(50/60Hz) |
| 吸気口フランジ | UVG-150 |
| 質量 | 19 kg |
| 組み合わせる圧縮機 | C10、C10E、C10ES、SC、C2W-U(シングル運転)/C30MV(マルチ運転、3台まで) |
| 方式 | ヘリウム冷凍機式クライオポンプ(GMサイクル) |
| 冷凍機ユニット | R10 |
| 外形寸法 | 全高510、吸気フランジ外径235(UVG-150時) mm |
| メンテナンスインターバル | 16,000 時間 |
※数値は社内保管のCRYO-Uシリーズ取扱説明書(表1-1 標準仕様、ポンプ1台当たり)による。メーカー現行サイト(ULVAC CRYOGENICS)の値も同じ
※吸気口フランジはUVG-150のほかUFC-203(ICF-203)仕様がある
※現行サイトでは組合せ圧縮機をC10、C10AT、C10ESとしている(取説の型式と一部異なる)
出典: メーカー資料、ulvac-cryo.com
アルバック Ulvac CRYO-U6H の装置概要 AIによる記述です
ヘリウム冷凍機で極低温に冷やしたパネルに気体を凝縮・吸着させて排気するクライオポンプです。油を使わずに清浄な高真空を得られるため、スパッタリングなどの成膜装置や分析装置の主排気に使われます。冷凍機はGMサイクルで、冷凍機ユニットはR10です。
排気速度は750 L/sで、水素は1,100 L/s、アルゴンは620 L/s、水蒸気は2,100 L/sです。到達圧力は10⁻⁷ Pa、冷却降下時間は80/70分(50/60Hz)です。吸気口フランジはUVG-150(外径235 mm)で、UFC-203(ICF-203)の仕様もあります。全高は510 mm、質量は19 kg、メンテナンスインターバルは16,000時間です。
圧縮機はC10、C10E、C10ESなどと組み合わせ、C30MVを使うと最大3台までのマルチ運転ができます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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