中古 日本電子 Jeol RF電源 JRF-750
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- メーカー
- 日本電子 Jeol
- 型式
- JRF-750
- 機種
- RF電源
- 管理番号
- F032265
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
JRF-750 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 種別 | プラズマ用高周波電源(スパッタ・エッチング・CVD用) |
|---|---|
| 出力電力 | 0〜750 W |
| 周波数 | 13.56 MHz |
| 発振方式 | 水晶発振他励式 |
| 出力コネクタ | N型 |
| 出力安定度(50Ω抵抗負荷) | ±0.5 % 以下 |
| 入力電源 | 三相 AC200V±10V 50/60Hz |
| 入力電流 | 7 A |
| 電源容量 | 2.8 kVA |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 冷却水流量 | 2 L/min |
| 冷却水配管口 | Rc1/8 |
| 外形寸法(W×D×H) | 481×454×99 mm |
| 質量 | 19 kg |
| 前面表示 | 進行波/反射波(W)デジタル表示、出力調整、RF ON/OFF、インターロック表示 |
※値は社内の取扱説明書(JRF-300/750/1500/3000 共通)の性能仕様表による。電源容量と前面表示は現品(F032265)の銘板・前面パネルから。
※発振周波数の許容差は ±0.005%。出力安定度とリップル(1%以下)は 50Ω抵抗負荷での値、高調波歪は -50dB。
※水冷式で、冷却水は圧力差 200kPa で 2L/min 流す。電磁弁用コネクタ(SV)を外すと冷却水が流れず OVER HEAT で止まる(取説の注意)。
※外形寸法は筐体の値。背面の冷却水出入口を含む奥行は 553mm(取説の外形図)。
出典: メーカー資料、現品の銘板
日本電子 Jeol JRF-750 の装置概要 AIによる記述です
スパッタリング、ドライエッチング、プラズマCVDなどの装置で、プラズマを立てるための高周波電力を供給するプラズマ用のRF電源です。周波数は13.56 MHzで、水晶発振器で決めた周波数を増幅する水晶発振他励式のため、発振周波数の許容差は±0.005%に抑えられています。
出力電力は0〜750 Wの範囲で調整でき、50Ω抵抗負荷での出力安定度は±0.5%以下です。出力コネクタはN型で、前面には進行波・反射波のデジタル表示、出力調整、RF ON/OFF、インターロック表示があります。
入力電源は三相AC200V 50/60Hz、入力電流は7 A、電源容量は2.8 kVAです。冷却は水冷で、冷却水を2 L/min流します。外形寸法は481×454×99 mm(W×D×H)、質量は19 kgです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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