中古 ヤマタケ Yamatake マスフローコントローラー（MFC） CMQ-V
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- メーカー
- ヤマタケ Yamatake
- 型式
- CMQ-V
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 管理番号
- G020408
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
CMQ-V の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| バルブ方式 | 比例ソレノイドバルブ |
|---|---|
| バルブ動作 | 非通電時-閉(N.C.) |
| 流量(フルスケール) | 5mL/min〜50L/min(形番による) |
| 校正ガス | 空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10) |
| 制御範囲 | 1〜100%FS |
| 精度 | ±1%FS(50%FS<Q≦100%FS)、±0.5%FS(0%FS≦Q≦50%FS) |
| 再現性 | ±0.5%FS(50%FS<Q≦100%FS)、±0.25%FS(0%FS≦Q≦50%FS) |
| 応答性 | 設定±2%FS以内に0.3s(TYP.) |
| 許容入口圧 | 0.5 MPa(gauge) |
| 耐圧 | 1 MPa(gauge) |
| 動作差圧範囲 | 300kPa以下 |
| 許容動作温度範囲 | -10〜+60 ℃ |
| 接ガス部材質 | SUS316、テフロン、フッ素ゴム |
| 継手 | 9/16-18UNF、Rc1/4、1/4Swagelok、1/4VCR |
| 電源 | DC24V 消費電流300mA以下(許容 DC21.6〜26.4V) |
※社内保管の取扱説明書「第7章 仕様」から転記した型式一般の値。
※フルスケール流量・必要差圧・積算分解能は形番(MQV9005〜MQV0500)ごとに異なる。現品の形番を確認すること。
※ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること、腐食成分(塩素・硫黄・酸など)を含まないことが使用条件。
出典: メーカー資料
ヤマタケ Yamatake CMQ-V の装置概要 AIによる記述です
ガスの流量を測り、内蔵のバルブで設定した流量に保つマスフローコントローラ(MFC)です。バルブは比例ソレノイドバルブで、電源が入っていないときは閉じるノーマルクローズ(N.C.)です。空気・窒素、酸素、アルゴン、炭酸ガスのほか、都市ガス13A、メタン、プロパン、ブタンといった燃料ガスの校正があり、燃焼の制御やガスの混合などに使われます。
フルスケール流量は形番によって5mL/min〜50L/minの範囲にあり、制御範囲は1〜100%FSです。精度は50%FSを超える流量域で±1%FS、応答は設定の±2%FS以内まで0.3s(TYP.)です。許容入口圧は0.5 MPa、動作差圧範囲は300kPa以下、許容動作温度範囲は-10〜+60 ℃で、電源はDC24Vです。
フルスケール流量・必要差圧・積算分解能は形番(MQV9005〜MQV0500)ごとに異なります。ダストやオイルミスト、腐食成分を含まない清浄な気体で使います。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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