中古 リンテック マスフローコントローラー（MFC） MC-100

本装置は、高精度な気体の流量制御を行うサーマル方式のマスフローコントローラーです。独自の高応答性センサーとソレノイド駆動のアクチュエーター（バルブ）を搭載しており、プロセスガスの安定した供給と高速応答を両立しています。ガスケットにはゴム製Oリング（FKMなど）を採用しており、不活性ガスや各種乾燥ガスの流量制御に最適です。コンパクトな設置スペースに適合する124mmの面間寸法（標準仕様）と、各種アナログインターフェース（0-5Vまたは4-20mAなど）による制御に対応しており、半導体製造装置から一般産業用ガス制御、理化学機器まで幅広い分野で安定した性能を発揮します。