中古 アネルバ ANELVA RF電源 PRF-125C-1
本体価格(税別、送料別)400,000円
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- メーカー
- アネルバ ANELVA
- 型式
- PRF-125C-1
- 機種
- RF電源
- 管理番号
- Z18032065
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
PRF-125C-1 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 出力周波数 | 13.56(水晶発振、精度±2.0kHz以下) MHz |
|---|---|
| 定格出力電力 | 1.2(制御範囲0〜1.2kW) kW |
| 定格 | 連続 |
| 制御方式 | 入力電力による定電力制御(CONSTANT POWER)/外部検出信号によるELECTRODE SENSING |
| 出力制御精度 | 設定値に対して最大定格の±2%以内(進行波電力精度±5%以内) |
| 出力インピーダンス/コネクタ | 50Ω、HN型同軸コネクタ |
| 出力設定 | TUNE/REMOTE(外部0〜10V)/LOCAL(コントローラのUP・DOWNキー) |
| 外部出力信号 | 入射電力0〜1.2kW、反射電力0〜240WをDC0〜10Vで出力 |
| 反射電力保護 | 反射電力が250W以上にならないよう入射電力を制御 |
| 交流入力 | 三相4線式 200V±10% 50/60Hz、入力容量2.6kVA |
| 冷却 | 強制風冷 |
| 形式 | ラックマウント形。本体(PRF-125C)+RF P.S.コントローラ(PSC-111) |
| 使用環境 | +5〜+40℃、35〜85% |
| 外形寸法(本体) | 480W×480D×300H mm |
| 外形寸法(コントローラPSC-111) | 209W×48D×100H mm |
※数値はPRF-125Cの社内保管取扱説明書(VT-396-074)による。-1の違い(I/O基板や外装の変更と思われる)は取説に記載が無く未確認
※質量は取説に記載なし。整合器(マッチングボックス)は含まない
出典: メーカー資料
アネルバ ANELVA PRF-125C-1 の装置概要 AIによる記述です
高周波電力でプラズマを立てるRF電源で、スパッタリングやドライエッチング、プラズマCVDなどの装置にラックマウントで組み込んで使う。本体とRF P.S.コントローラPSC-111の組合せで動き、整合器(マッチングボックス)は別に用意する。
発振は水晶で13.56MHz(精度±2.0kHz以下)、定格出力電力は連続1.2kW。制御は定電力(CONSTANT POWER)と外部の検出信号によるELECTRODE SENSINGで、出力の制御精度は最大定格の±2%以内(進行波電力の精度は±5%以内)。出力インピーダンスは50Ω、HN型同軸コネクタ。設定はコントローラのキー(LOCAL)、外部の0〜10V(REMOTE)、TUNEの各モードで行え、入射電力と反射電力をDC0〜10Vの信号で取り出せる。反射電力が250W以上にならないよう入射電力を絞って電源を守る。交流入力は三相4線式200V±10% 50/60Hz・2.6kVA、冷却は強制風冷、本体は480W×480D×300Hmm。
数値はPRF-125Cの取扱説明書による値で、末尾の-1の違いは取説に記載が無く確かめられていない。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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