中古 新電元工業 SHINDENGEN ELECTRIC MANUFACTURING RF電源 XR-P1330

13.56MHzの高周波電力を作り、整合器を通して真空容器の電極へ送ってプラズマを立てるRF電源(RF GENERATOR)。スパッタリングやドライエッチング、プラズマCVD、アッシングなど、プラズマを使う半導体・電子部品の製造装置や研究用の成膜・エッチング装置に組み込んで使われる。
出力周波数は13.56MHz、出力は3kWで、前面にも13.56MHz 3kW RF GENERATORの表記がある。仕様記号はN-Iで、Group13(A)の表示が付く。プラズマのインピーダンスはガスの種類や圧力、電力で変わるため、電源と電極の間には整合器(マッチングボックス)を入れて電源の出力に合わせ、電源へ戻る反射電力を抑えて使う。
入力電源・寸法・質量・冷却方式は公式資料が無く、確かめられていない。組み合わせる整合器と制御の信号は、装置の構成と現品で確かめる必要がある。