中古 ヤマタケ Yamatake マスフローコントローラー（MFC） CMQ
本体価格(税別、送料別)50,000円
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- メーカー
- ヤマタケ Yamatake
- 型式
- CMQ
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 空気 200ml/分
- 備考
- 部品どり
- 管理番号
- Z18042328
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Air |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 200 mL/min |
| 現品の型番 | CMQ9200CSSN000000 |
CMQ の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | 窒素、空気 |
|---|---|
| 制御方式 | 熱式流量センサ + 比例ソレノイドバルブ |
| 外部接続 | 20ピンコネクタ(FLOW OUT / FLOW SP INPUT / MODE INPUT / DI1〜3 / EV1・EV2 OUT / ALM OUT / RS-485 RDA・RDB / +5V 5mA max) |
| 表示器 | なし(分離形。表示器付きは CMQ-V) |
※本仕様はメーカー公表の同シリーズにおける代表値であり、中古品現物の個別仕様（接続形状、校正ガス種、入出力信号仕様など）と異なる場合があります。
出典: 現品の銘板、aa-industrial.azbil.com
ヤマタケ Yamatake CMQ の装置概要 AIによる記述です
独自のマイクロフローセンサを搭載した高性能な熱式マスフローコントローラです。本製品は、空気や窒素などの非腐食性ガスに対応し、最大200 mL/min (standard)までの微少流量を高精度かつ高速に制御します。シリコン微細加工技術（MEMS）を用いたセンサの採用により、従来の熱式センサに比べて優れたゼロ点安定性と高速応答性を実現しており、設定値変更から1秒以下で目標流量へ安定させることが可能です。実験室でのガス混合、各種分析装置へのキャリアガス供給、半導体関連の評価装置など、微小流量の緻密なプロセス制御が求められる用途に適しています。24V DC電源で動作し、アナログ信号による流量設定および流量出力をサポートします。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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