中古 日立金属 マスフローコントローラー（MFC） FCPI 980

本装置は、半導体・電子デバイス製造プロセス等で使用される高精度なガス流量制御システム（マニホールド1式仕様）です。供給一次側および二次側の急激な圧力変動に対して、流量制御への影響を極めて小さく抑える「圧力変動影響抑制（Pressure Insensitive：PI）」機能を搭載している点が大きな特徴です。これにより、プロセス中のバルブ開閉やガス切り替え時に発生する過渡的な圧力変化下でも、設定された流量を迅速かつ安定して維持し、プロセスの再現性向上に貢献します。また、接ガス部には高い耐食性を誇る金属材料を採用しており、塩素やフッ素系などの腐食性・反応性ガスに対しても優れた信頼性と耐久性を発揮します。本製品は、不活性ガスから各種プロセスガスまでを含む多系統（8系統）の独立したラインで構築されており、それぞれのガス種に最適化された個別の流量レンジ（10 sccm〜5000 sccm）で構成されています。