中古 MKS マスフローコントローラー（MFC） 649A-27650
本体価格(税別、送料別)50,000円
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- メーカー
- MKS
- 型式
- 649A-27650
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 配管ユニット1式、He＊10SCCM
- 管理番号
- Z181219018
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | He |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 10 SCCM |
| 現品のフルスケール流量 | 10sccm(ガス: He) |
| 現品のフルスケール圧力 | 2.666 kPa |
649A-27650 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 圧力トランスデューサ | 絶対圧キャパシタンスマノメータ |
|---|---|
| 精度(圧力トランスデューサ) | 読みの±0.5% |
| 精度(圧力コントローラ) | フルスケールの±0.1%以下 |
| 精度(マスフローメータ) | フルスケールの±1.0% |
| 制御再現性 | フルスケールの±0.2% |
| 圧力制御レンジ | フルスケールの5〜100% |
| 最大運転差圧 | 1 MPa |
| 暖機時間 | 5 分 |
| 入力電源 | ±15VDC±5%(起動時最大250mA、定常200mA) |
| 出力信号 | 流量 0〜5VDC / 圧力 0〜10VDC(0〜5VDC選択可) |
| 継手 | 4-VCR(雄)、8-VCR(雄) |
| バルブ | ノーマルクローズ(通常閉型)、シート材 Metal Kel-F・Viton・Kalrez |
| 接ガス部材質 | 316L VIM/VARステンレス鋼、Inconel、ニッケル、Elgiloy |
出典: メーカー資料
MKS 649A-27650 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、ガス流量測定と圧力制御の機能を一体化したエラストマーシール式の高性能制御ユニットです。圧力センサー、コントロールバルブ、および制御電子回路がコンパクトに統合されており、ガス供給ラインの省スペース化に貢献します。今回の対象個体は、ヘリウム（He）ガスにおいてフルスケール10 SCCMの制御に対応する仕様となっています。外部の圧力測定器を別途設けることなく、単体で高精度なクローズドループ制御が可能です。さらに、専用の配管ユニットが1式付属しているため、既存システムへの組み込みやセットアップがスムーズに行えます。半導体プロセス、真空装置、ガス分析、各種研究開発用途における、微小流量の精密な制御に適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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