中古 VAT マスフローコントローラー（MFC）

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メーカー: VAT
型式: —
機種: マスフローコントローラー（MFC）
管理番号: Z19032711
引渡・支払: 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)

参考仕様

型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。

* 制御流量範囲	10 sccm 〜 20 slm（※窒素ガス換算時。モデル毎の仕様に準ずる）
* 流量制御範囲	2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
* 流量測定精度	±1.0% F.S.（フルスケールに対して）
* 再現性	±0.2% F.S.
* 応答速度	2.0秒以下（T98応答特性）
* 動作差圧範囲	50 kPa 〜 300 kPa
* 耐圧	1.0 MPa
* 動作温度範囲	5℃ 〜 50℃（精度保証範囲：15℃ 〜 35℃）
* 外部リークレート	1×10⁻⁸ Pa・m³/s 以下
* 接ガス部主要材質	SUS316L、フッ素ゴム（FKM）
* 制御信号	アナログ（0〜5 VDC）およびデジタル通信対応
* 駆動電源	DC ±15V（最大消費電流：約200mA）

※以下の数値は本カテゴリ装置の代表的な基準値です。実際のキャリブレーション（校正ガス種）や継手形状によって異なる場合があります。

VAT マスフローコントローラー（MFC）の装置概要　AIによる記述です

本装置は、気体の質量流量を熱式センサーによって直接検出し、内蔵された高精度なコントロールバルブを駆動させることで、周囲の温度や一次側・二次側の圧力変動に影響されることなく、常に一定の流量を極めて精密に供給・制御するマスフローコントローラー（MFC）です。半導体製造プロセス、各種熱処理炉、理化学分析機器、あるいは研究開発用のガス混合ラインなど、ガス流量の厳密な管理と高い再現性が求められる環境に広く適合します。
本機は優れた応答特性を備えており、設定値の変更に対して迅速かつ安定した制御動作を行います。また、接ガス部には耐食性とクリーン性に配慮された材質が採用されており、各種プロセスの安定稼働に貢献します。中古機器としてもその堅牢な設計から信頼性が高く、新規導入コストを抑えつつ高精度なガス制御システムを構築するのに最適な1台です。

※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。