中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FCPI980

本装置は、半導体製造装置や薄膜形成プロセス、各種実験設備等において高精度なガス流量制御を行う熱式マスフローコントローラー（MFC）です。高速応答性と優れた再現性を両立したセンサー技術を採用しており、プロセスの安定化に寄与します。
本個体の仕様は、エッチングプロセスなどで広く使用される腐食性ガスである六フッ化硫黄（SF6）に対応しています。最大制御流量（フルスケール）は300sccmの仕様をベースとし、実際の調整流量として50sccmに設定・校正されている、または特定のガス係数（コンバージョンファクター）に基づき最適化されている状態です。アナログインターフェースを搭載しており、堅牢なメタルシール構造を採用することで、微少なガス漏れを防ぐ高い気密性を確保しています。信頼性の高い流量制御により、微細加工や特殊ガスプロセスにおける厳密な流量管理に最適です。