中古 アルバック Ulvac ピラニーゲージ G-TRAN SP-1
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- メーカー
- アルバック Ulvac
- 型式
- G-TRAN SP-1
- 機種
- ピラニーゲージ
- 管理番号
- Z19091414
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
G-TRAN SP-1 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 形式 | SP1（G-TRANシリーズ ピラニゲージ センサユニット） |
|---|---|
| 測定圧力範囲 | 4.0×10⁻¹〜3.0×10³ Pa |
| 測定精度 | ±15%（51〜760Pa）／±30%（10〜1000Pa）／±50%（0.4〜3000Pa） |
| 適応測定子 | WP-01／WP-02／WP-03／WP-16 |
| フィラメント材料 | 白金（Pt） |
| 測定値出力 | 非線形出力 DC0〜5V（Max.10V） |
| 出力更新時間 | 50 ms |
| 出力分解能 | 10 mV |
| サンプリング時間 | 50ms・5回の移動平均処理 |
| 制御出力信号 | オープンコレクタ、負論理（セットポイント1／2、Error） |
| LED表示 | パワー、エラー、セットポイント1／2 |
| 電源電圧 | DC24±2（90mA Max.） V |
| 入出力コネクタ | D-sub-15P（M2.6ねじ） |
| 使用温度範囲 | 10〜40 ℃ |
| 本体質量 | 190 g |
※本シリーズには複数のバリエーション（リニア出力仕様やインターフェースの違い）が存在し、測定範囲やフランジ規格は装着されているセンサヘッドの型番（WPシリーズ等）によって異なります。上記は同シリーズのピラニーゲージにおける標準的な参考値となります。実機のご利用にあたっては、必ず現物の銘板やピンアサイン等をご確認ください。
出典: メーカー資料
アルバック Ulvac G-TRAN SP-1 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、各種真空装置の粗引きから中真空領域の圧力測定に広く用いられるトランスミッタ型の定温度型ピラニー真空計です。大気圧付近から高真空（5.0×10^-4 Pa ～ 3000 Pa）までの広範囲な圧力を連続的に測定することが可能です。
最大の特徴は、センサーユニットと測定回路がコンパクトに一体化されたトランスミッタ設計を採用している点です。これにより、従来の据え置き型コントローラーを必要とせず、装置への組み込みにおける省スペース化や配線の簡略化に大きく貢献します。
測定原理には、気体の熱伝導率と圧力の相関関係を利用したピラニー方式を採用しています。センサー内部の白金フィラメントを常に一定の温度に保つようフィードバック制御を行い、その温度維持に必要な投入電力の増減から圧力を算出します。この定温度方式により、圧力変化に対する応答性が非常に高く、安定した連続測定を実現しています。
主にアナログ電圧出力（DC 0～10V）を備えており、PLC（プログラマブルロジックコントローラ）などの上位制御機器への直接取り込みが容易です。半導体製造装置、FPD製造装置、真空炉、真空乾燥機、および真空排気ユニットの圧力モニタリングなど、産業分野における多様なプロセス制御で信頼性の高い計測デバイスとして利用されています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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