中古 MKS マスフローコントローラー（MFC） 1480A-25077
本体価格(税別、送料別)20,000円
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- メーカー
- MKS
- 型式
- 1480A-25077
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- N2 40sccm
- 管理番号
- Z20020749
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 40 SCCM |
1480A-25077 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | N2 |
|---|---|
| 継手 | 4-VCR |
| シリーズ | ALTA Type 1480A（メタルシール型 デジタルMFC） |
| 確度 | 設定値の±1%（F.S.の20〜100%）／F.S.の0.2%（20%F.S.未満） |
| 制御範囲 | F.S.の2〜100% |
| 繰返し精度 | 読み値の0.2% |
| 分解能 | 0.1 %F.S. |
| 最大入口圧力 | 150 psig |
| 整定時間 | 1秒以下（10%F.S.超、代表値） |
| ウォームアップ時間 | 30分以内 |
| 使用温度範囲 | 10〜45 ℃ |
| 電源(アナログI/O版) | ±15VDC±5%（定常250mA、起動時350mA） |
| 入出力信号 | 設定・出力とも DC0〜5V、コネクタ D-sub 9ピン |
| 接ガス部材質 | 316L SS VAR／316 SS／ニッケル／KM-45、バルブシートはKel-F（50sccm以下） |
出典: 現品の銘板、api.p1.mks.com
MKS 1480A-25077 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、気体の質量流量を正確に測定するための熱式質量流量計（マスフローメーター）です。流量制御バルブを持たないモニター専用仕様であり、ガス供給ラインにおける正確な流量監視に特化しています。
測定対象ガスは窒素（N2）に対応しており、フルスケール40 sccmの微小流量域において、±1.0% F.S.の高い測定精度と、±0.2% F.S.の優れた再現性を発揮します。周囲の温度や圧力変動の影響を受けにくい熱式センサ技術を採用しているため、安定した連続測定が可能です。
半導体プロセス、各種研究開発用の実験設備、分析装置のガス供給システムなど、緻密なガス流量監視が求められる環境に適しています。
（※本モデルは流量の「測定・監視」を行うメーター仕様であり、流量制御バルブは内蔵されておりません）
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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