中古 スウェージロック Swagelok 真空バルブ SS-4BMG-VCR

本製品は、高純度ガスや真空システム向けに設計されたベローズシールタイプの手動式三方弁です。本体および接ガス部の主要材質には耐食性に優れた316ステンレス鋼が採用されており、微量な不純物の混入も許されない半導体製造プロセス、高度な分析機器、真空チャンバーのガス制御ラインなどに適しています。

最大の特徴であるベローズシール構造により、ステムの可動部がプロセス流体から完全に隔離されています。これにより、バルブ駆動部からのパーティクル発生を防ぐとともに、外部へのガス漏れ（アウトリーク）や外部からの大気の吸い込みを強固に防止します。厳格なヘリウムリークテストをクリアしており、超高真空環境から加圧ラインまで、信頼性の高い流体制御が可能です。

配管接続部には1/4インチのVCR（メタルガスケット・フェイスシール）継手を採用しています。金属ガスケットによる面接触シール機構により、非常に高い気密性を確保しつつ、配管の着脱やメンテナンスを容易に行うことができます。また、三方弁（切換弁）であるため、1つのバルブユニットで流路の分岐や切り替えを効率的に行うことができ、配管システムの省スペース化や内部容積（デッドスペース）の削減に大きく寄与します。